表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法 - 光学精密工程.pdf

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2017-09-03 发布于天津
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表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法 - 光学精密工程

84 Vol. 8, No. 4 2 0 0 0 8 OPT ICS A ND PRECISION ENGINEERING Aug . , 2000 1004-924 ( 2000) 04-0309-07 X 王富生, 谭久彬 ( 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系, 黑龙江哈尔滨　150001) : , T OPO Nomarski , , , : 表面微观轮廓; 光学测量方法; 高分辨率 : T B92: A , 1　引　　言 , , , [ 1] , Table 1Technical parameters and characteristics of typical optical measurement m ethods for surface prof ile V rtical Lat ral V rtical M th od Prin cipl Charact ristics r solution r solution rang High r v rtical and lat ral r solution ; high r suppr ssion Scanning confocal 10 0. 35 , ; nm m of scatt r d lig ht L arg r m asurabl inclination angl microscopy But th r solution limit d by th pinhol s siz High r v r tical r solution ; High r stability; But small r