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表面微观轮廓的高分辨率光学测量方法 - 光学精密工程
84 Vol. 8, No. 4
2 0 0 0 8 OPT ICS A ND PRECISION ENGINEERING Aug . , 2000
1004-924 ( 2000) 04-0309-07
X
王富生, 谭久彬
( 哈尔滨工业大学自动化测试与控制系, 黑龙江 哈尔滨 150001)
:
, T OPO
Nomarski
, , ,
: 表面微观轮廓; 光学测量方法; 高分辨率
: T B92: A
,
1 引 言 ,
,
,
[ 1]
,
Table 1Technical parameters and characteristics of typical optical measurement m ethods for surface prof ile
V rtical Lat ral V rtical
M th od Prin cipl Charact ristics
r solution r solution rang
High r v rtical and lat ral r solution ; high r suppr ssion
Scanning confocal
10 0. 35 , ;
nm m of scatt r d lig ht L arg r m asurabl inclination angl
microscopy
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High r v r tical r solution ; High r stability; But small r
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