纳米晶ba( zr 薄膜的外延生长与介电特性.pdf

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2017-09-03 发布于天津
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纳米晶ba( zr 薄膜的外延生长与介电特性

25 1 Vol. 25 No. 1 2008 3 Journal ofGuangdong University of Technology M arch 2008 Ba( Zr T i ) O 0. 2 0. 8 3 杨中服, 唐新桂 ( , 510006) : ( 001) SrT iO BX (Nb) 110% , Ba( Zr T i ) O ( 3 0. 2 0. 8 3 BZT). 650 e 10 m in, ( 001) . X- ray. BZT ( 002) 0. 72b, ; 90 nm, 4. 3 nm, . 100 kH z 500 kV / cm , BZT 317 65 % . : ; ; ; : TB304 : A : 1007-7162( 2008) 01-0011-04 , 1 500 e . BZT , (PLD), KrF Exmi er Laser, Lambda Physik . ( BST ) Complex ( 248 nm, 650m J, 25 ns). 50mm. SrT iO : Nb 650 e . 3 / 0. 267 Pa, 26. 7 Pa, [ 1-3] . , 300m J, . Ba( Zr T i ) O x 1- x 3 ( BZT) BST, 10, 20 nm . 4 + 4+ 30 m in, 600 nm. Zr T i BaT iO 3 [ 4-7] , , 10 m in, . ( BaT iO ) ( Ba- 3 ZrO ) Ba(Zr T i ) O , . [ 8]. 3 x 1- x 3 BZT Bruker AXS D8 (TC ) ( Zr) . x 0115 [ 4] D iscoverX-(XRD) ; , BZT 3 ; x 0120, [ 7] Seiko SPA400, Japan (AFM ) , . . A u/BZT /SrT iO : Nb / , .