1设备用途根据“柔性电子材料板超快激光微群孔高效制造技术及装备.DOC

1.设备用途 根据“柔性电子材料板超快激光微群孔高效制造技术及装备”项目的实验要求，需要在FPC上进行飞秒激光打孔研究。这就需要增购一套飞秒超快激光加工系统，其必须配有飞秒激光器以及微加工平台。激光器可以输出高频稳定的高能量激光脉冲，微加工平台精度高，且要求支持样品照明及CCD成像实时监测系统，从而保证微群孔加工的高效性以及一致性。 2. 总体要求 激光器主机由飞秒放大器，飞秒振荡器，放大器泵浦源组成。微加工平台应具有高精密定位、可视化等控制能力，加工控制软件可以进行简单2D和3D 3. 具体技术指标要求 类别 主要配置 参数 技术指标 钛宝石 光纤 输出功率 mW 10mW 功率稳定性 ± % ± 1.5% 光束指向性 10μrad 1mrad 噪声 0.05% 2% 泵浦源 单脉冲能量 ≥20mJ@1kHz, ≥6mJ@5kHz 能量稳定性 0.5%（RMS） 波长 527nm 重复频率 10-10KHz 放大器 脉冲宽度 100~120fs 800nm 单脉冲能量 ≥≥0.8mJ@5kHz 能量稳定性 0.5%RMS(24小时 光束质量 M2 ≤1.3TEM00) 光束指向性 20μrad/℃ 重复频率 功率 ≥W 稳定工作环境温度范围 ≥±2℃ 倍频器 倍频波长 400nm, 266nm 微加工运动平台 电控平台移动范围 ≥100mm*100mm*4mm 同轴精度（X/Y轴） ≤1.5μm(±0.75μm) 双向重复精度（X/Y轴） ≤0.08μm(±0.04μm) 单向重复精度（X/Y轴） ≤0.05μm 最大速度（X/Y轴） ≥300mm/s ≤0.060μm 定位精度（轴） ≤3μm(±1.5μm) （轴） ≤0.3μm （轴） ≥5mm/s 其他 交货期 月之内 售后维修 周内 维修地点 国内 1) 硬件配置 (1) 飞秒激光主机......................................................................................1套 脉冲重复频率可实现1 kHz和5kHz任意切换飞秒激光主机； 2) 飞秒激光驱动控制器...............................................................................1套 可以接收外触发控制； 3) 激光倍频器................................................................................................1套 倍频器应实现800nm激光波长的二倍频400nm和三倍频266nm，一体化程度高，操作简单实用便利，应为原厂出品的标准产品； 4) 飞秒激光器冷却系统......................................................................... ....1套 配备至少1年用的专用冷却液以及过滤附件； 5) 微加工运动平台....................................1套 当聚焦调整提供30mm手动调解范围时，电控平台Z轴移动范围允许4.8mm≤Z轴≤10mm当聚焦调整仅采用Z轴平台时，电控平台Z轴移动范围要求≥mm； 6) 激光功率电控调节器.........……………………...........................1套 7) 激光功率监控器...................................1套 8) CCD相机............................................1台 9) 激光脉冲快门.......................................1套 10)加工平台主机及控制器............................1套 需带有多路I/O端口，至少4路工作轴驱动； 11) 封闭式激光光路（包含反射镜安装支架调节架聚焦元件 正置倒置照明光源正置同轴监控等）................................1套 12) 样品加持架..............................................................1套 13) 系统集成相关配件.................................... 1套 1