86 原子力显微镜激光光路调整方法 - 本原扫描探针显微镜SPM.PDF

电子显微学报 　J . Chin. Electr. Microsc. Soc. ㈡ 　　　　21 (5) ∶800～801 　 2002 年 原子力显微镜激光光路调整方法 1 2 1 包生祥 ,张 　勇 ,王志红 ( 1 电子科技大学材料分析中心 , 四川 成都 610054 ;2 成都理工大学应用化学系 , 四川 成都 610059) 　　CSPM930b 型多功能扫描探针显微镜经常需要 1 至几分钟 。 [1 ] 进行手动激光光路调整 。该仪器使用说明书 介绍 方法 2 :当利用纸条截获悬臂反射光斑进行观察调 的调整方法可操作性差 、手续繁琐 、过程冗长 ,且难 整时 ,如果纸条越接近悬臂 Cantilever ,激光斑点越小 以判断激光束是否准确照射到微悬臂针尖背面的镀 而且越接近圆形 。利用该圆斑判断时容易将针尖反 ( ) 金层上 ,往往造成误判而导致微悬臂针尖被撞断裂 。 射斑与悬臂 —基座斜面 如图 2 中A 所示 反射斑 而且 ,按照原有方法操作者需要长时间全神贯注观 混淆而造成误判 。直接后果是一旦开始分析就会撞 n 察激光斑 ,使用者眼睛极易疲劳甚至造成损伤 。笔 断针尖 。本工作具体改进做法是 :将观察纸条尽量 者使用该仪器过程中 ,对光路调整方法进行了大量 靠近反射镜 Mirror 2 ,或光电探测器 PSD 前插入 ,此 c . 试验 ,摸索出了一套操作方便 ,容易准确判断针尖位 时截获的激光斑较大 。本工作通过反复试验观察 , 置的有效方法 。现总结交流如下 。 总结得出纸条截获的激光反射光斑图形见表 1 。 调整方法 m 表 1 　悬臂不同位置的激光反射光斑图形 CSPM930b 扫描探针显微镜 AFM 部分激光光 o 位置 激光反射斑图形 ( ) 路如图 1 所示 。由半导体激光器 Laser Diode 发出 ( ) A 基座斜面 圆形 大而亮 c ( ) 的激 光 束 , 经 透 镜 Mirror 1 会 聚 到 微 悬 臂 . B1 或B2 悬臂一侧 条形 (Cantilever) 针尖上 , 由针尖背面镀金层反射回来的