压电驱动型宏微结合定位平台在微纳制造 中的应用.pdfVIP

压电驱动型宏微结合定位平台在微纳制造 中的应用 时贝超 天津大学机械工程学院机械工程专业2016级硕士 摘要：宏微结合两级驱动精密定位技术是国防军工、航空航天、精密加工、生物科学和精密光学等领域的 关键支撑技术之一。随着科学技术的发展，精密定位技术对定位系统行程和精度的需求越来越大，宏微结 合两级驱动精密定位技术克服了传统的单一驱动定位技术难于实现大行程、高精度的技术难题，在体积、 行程、响应速度、定位精度等方面均具有较大的优势，国内外科研人员围绕宏微结合两级驱动精密定位技 术展开了系统深入的研究。 关键词：压电驱动，伺服电机，柔性铰链，精密定位，运动平台 当今日美法等发达国家对大尺度微纳 1 研究背景和意义 米定位技术的研究开发都十分重视，纷纷投 随着科学技术的发展，在国防工业、航 入了大量的人力物力。国内外有很多的科研 空航天、精密光学、生物医疗、精密加工与