第三章 衍射衬度的起源与理论-一.pdf

北京大学 物理系 研究生课程：透射电子显微学－第三章 撰写人： 俞大鹏 创建时间：2002- 1-4 9:37 第三章 衍射衬度的起源与理论 在第二章中介绍了电子衍射谱的起源与标定。电子衍射谱的形成是一个考虑 距离样品很远处振幅的强度分布，因此是一个Fraunhofer （远场平面波近似）衍 射过程。本章要介绍的是分析样品的下表面出射波的强度分布，以及物镜如何将 它们成像为衬度像的机理。透射电镜中的衬度起源有两种，一种是由于晶体样品 各处满足衍射的条件不同造成的，即衍射衬度 （近场球面波近似）。另一种起源 于晶体周期势场对Bloch 传播电子的相位进行了调制，各相干衍射束相互干涉、 叠加形成二维投影像，即相位衬度，俗称高分辨衬度像。本章将介绍第一种情况， 即由于衍射强度分布不同造成的衍射衬度 (Diffraction Contrast) 。 一. 衬度运动学理论与基本假设 l 基本说明 根据固体物理的基本原理，在晶体的周期势场中运动的电子，应当作为Bloch 电子来描述，在一个多体系统－动力学框架下来讨论透射与衍射束的行为。但是， 由于动力学理论考虑了各个衍射束之间的相互作用，处理起来比较繁琐。为简明 起见，可以进行简化处理，暂时不考虑这种相互作用。这种对动力学理论进行简 化处理的方法，就是运动学理论。 l 运动学理论的基本假设 112 北京大学 物理系 研究生课程：透射电子显微学－第三章 撰写人： 俞大鹏 创建时间：2002- 1-4 9:37 电子衍射衬度的运动学理论假设：同入射束相比，衍射束强度非常小，因此 可以只考虑晶体对电子的一次散射 （忽略多次散射），在小柱体近似的前提下忽 略各个衍射束之间的相互作用。同时，运动学理论仅处理在透射束――衍射束双 束条件下衬度的起源。这种假设使得问题的处理非常简单、明了，便于理解。 l 衍射衬度成像原理：明场像、暗场像、弱束暗场像 对于厚度平坦均匀、结构完整的晶体样品，各处衬度相同，即没有衬度。对 于样品呈现厚度不均匀 （如楔形、弯曲样品），或存在结构缺陷，则样品各处不 能同时严格满足Bragg 衍射条件，从而形成明暗对比的衬度(contrast) 。利用电镜 中的物镜光栏，在双束条件下仅选取透射束成像，成为明场像 (Bright- field image)，若仅选取衍射束成像，形成暗场像 (Bright- field image)。主衍射束强激 发 （严格满足Bragg 条件）并通过光轴而获得的暗场像为中心暗场像，主衍射束 弱激发 （偏离Bragg 衍射条件）获得的暗场像称为弱束暗场像。弱束暗场像可以 获得更高的分辨率。 图3 －1 暗场像 （左）与明场像 （右）的形成 解释衍射衬度可以采用两种方法：1）、量子力学 （波动力学）方法，在Born 近似 （即假设晶体势场很小的平均场情况）下，通过求解静态Schrodinger 方程， 得电子波函数的解。但这种方法比较繁琐。2 ）采用物理光学方法 （波动光学）： 根据光波传播的Fresnel 的态叠加原理，通过作Fresnel 半波带法，直接获得波阵 面前方P 点的振动振幅。以下首先介绍波动光学方法。 113 北京大学 物理系 研究生课程：透射电子显微学－第三章 撰写人： 俞大鹏 创建时间：2002- 1-4 9:37 二. 波动光学理论 Huygens 原理、Fresnel 半波带法 在前面的讨论中我们知道，电子衍射谱的形成是个远场传播的Fraunhofer 衍 射过程。从衍射衬度的形成机理看，电子束的传播发生在非常短的距离内，所以 图像的形成过程是个近场过程，或Fresnel 衍射过程，这是衍射衬度与衍射谱的 形成的本质区别。所以，Fresnel 传播的机制适合于解释衍射衬度的形成。为了 便于计算衍射衬度，首先介绍Fresnel 传播的半波带法。 在几何光学分析中，Huygens 提出了解释光波传播方向的基本原理，即一个 点光源的波阵面上任意一点都是次级球面子波之源，这些相位相同的球面子波相 互叠加，其包络线形成新的波阵面。这就