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准分子激光直写加工形状与离焦量关系的研究-武汉理工大学学报
25 8 武 汉 理 工 大 学 学 报 Vol. 25 No.8
2003 8 JOURNAL OF WUHAN UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Aug. 2003
1 2 1
魏仁选 , 周祖德 , 姜德生
( 1. ,430070;2. ,430070)
: 以玻璃为实验靶材, 研究了准分子激光直写刻蚀过程中靶材和光束焦点之间的 对位置与加工形状之间的关
系。加工出的沟槽剖面形状均为锥形。当离焦量为负时,沟槽底部较为光滑, 表面较宽, 深度较小,锥度较大; 当离焦量为
正时,槽底部模糊, 表面较窄, 深度较大, 锥度较小。
: 准分子激光; 微加工; 焦点; 刻蚀
: 248 : : 1671-4431( 2003)08-0052-03
TN A
, ,
, (CO2 YAG ) ,
[ 1, 2]
,
[ 35]
, ,
1
Lambda Physik COMPEX150T KrF
248 nm, 27.2 ns, 50 Hz, 5 mm20 mm, 0.2 mrad
, 1 150 ,
COMPEX T
18 mm4 mm
, f = 50 mm
, 3. 7 mm, Lm
, ,
, ,
Ne port , , 1
1 Lm
2
2. 1
22 kV , 10 Hz, 132. 1 mJ
TM
, Vector S310 132. 71mJ,
3. 7 mm ,,
, , ,
, 5 min,
, , 1
: 2003-03-03.
: ( 1965-) , , , .E-mail:rx ei@ mail. hut. edu.cn
25 8 ,: 53
, 1
, , , , / Lm / Lm /Lm
, ; , 1 - 2 000 228.8 171.6
, , , , 2 - 1 600 257.4 157.3
2. 2 3 - 1 200 271.7 128.7
4 - 800 243. 1 100. 1
[ 6]
, w h 5 - 400 243. 1 92. 95
6 0 243. 1 71.5
w (t) = w 0 + tan Cõh(t ) ( 1) 7 400 2
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