SJ6000激光干涉仪产品资料及技术参数介绍-深圳中图仪器.pdfVIP

产品解决方案 产品名称： SJ6000 激光干涉仪 联 系 人： 联系电话： 公司地址：深圳市福田区上梅林凯丰北路利丰大厦2~4 楼 公司网址： 深圳市中图仪器科技有限公司 SJ6000 激光干涉仪 一、 产品开发背景 激光干涉仪是以光波为载体，以光波波长为单位的一种计量测试方法，是公认的高精度、高灵 度的检测手段，在高端制造领域应用广泛。目前，国产激光干涉仪无论在测量精度、最高测速，还是 在最高测速下的分辨率及测量范围等方面，都与国外的产品有着一定的差距。由于技术上的差距，导 致了国内的激光干涉仪市场一直由国外占领，且形成了价格垄断。SJ6000 激光干涉仪在测量精度、 测量速度等方面基本上达到进口品牌的水平，能够填补我国在中高端测量技术上的空白，打破国外在 价格和技术上的垄断，推动激光干涉测量技术的普及，降低企业的检测成本，提升了我国在高精密测 量方面的检测水平进而提高我国在高端制造领域的整体竞争力。 表1 国内外典型激光干涉仪性能参数对比 成都工具 中图仪器 Renishaw API Agilent ZYGO 所 SJ6000 单/双频 单频 双频 双频 双频 双频 单频 产生双频的方法 / 塞曼效应 塞曼效应 声光调制 塞曼效应 / 最大频差 （MHz ） / 4 4 20 1.2 / 激光稳频精度 （ppm） 0.05ppm 0.05ppm 0.02ppm 0.1ppm 0.1ppm 0.05ppm 最高测速 （mm/s） 4000 / 3000 5100 2000 4000 分辨率 （nm） 1 1 1 0.31 20 1 测量范围 （m ） 80 45 40 40 20 40 线性测长精度( m) 0.5 0.5 0.4 0.5 1.5