激光扩束镜.PDFVIP

激光扩束镜 扩束镜是能够改变激光光束直径和发散角的透镜组件。从激光器发出的激光束具有一定的发散角， 对于激光加工来说，只有通过扩束镜的调节使激光光束变为准直（平行）光束，才能利用聚焦镜获得细 小的高功率密度光斑；在激光测距中，必须通过扩束镜最大限度地改善激光的准直度才能得到理想的远 距离测量效果；通过扩束镜能改变光束直径以便用于不同的光学仪器设备；扩束镜配合空间滤光片使用 则可以使非对称光束分布变为对称分布，并使光能量分布更加均匀。 最通用的扩束镜起源于伽利略望远镜，通常包括一个输入负透镜和一个输出正透镜。输入镜将一个 虚焦点光束传送给输出镜，两个透镜是虚共焦结构。一般小于 20 倍的扩束镜都用该原理制造，因为它简 单、体积小、价格也低。尽可能的该扩束镜设计成小的球面相差、低的波前变形和消色差。它的局限性 在于不能容纳空间滤波或者进行大倍率的扩束。 如右图所示，输入镜将入射的激光束聚焦在 前焦平面上（虚焦点），新的束腰ω′0 和发散角θ′ 为 ′ f 1λ ω0 (1) πω 和 2λ θ′ (2) πω ′ 0 ⎛ ⎞2 lλ ω(l) ω 1=+⎜ ⎟ (3) 0 2 πω ⎝ ⎠ 0 式中ω(l)为入射激光束在入射镜上光束半径，l 是入射激光束腰与入射镜的距离，f1 是输入镜的焦距。因 为 ω0′ 落在输出镜的后焦平面上，并且输出镜的焦距 f2 大于输入镜的焦距，高斯光束将被扩束镜准直。 准直倍率如下： θ ⎛ lλ ⎞2 T T 1=+⎜ ⎟ (4) θ′′ 1 ⎝πω2 ⎠ 0 式中 T = f2/f1 ，θ 和 ω 是入射光束的发散角和束腰。经过扩束镜后，束腰 ω″ 和发散角 θ″为 1 0 0 ″ λ ω0 ′f 2 (5) πω 0 和 θ θ′′ (6) T 将(1)式代入(5)得到 ″ ω T ω(l) (7) 0 1 http://www.SintecO 武汉新特光电 02799 广州安特激光 0205167 9 新加坡新特光电技术有限公司 从(4)至(7)式可以看出，扩束倍数和准直倍率不仅与扩束镜的参数有关，还与激光束参数和扩束镜透 镜的位置有关。扩束镜的功能是降低激光束的发散角，进而使激光器聚焦光斑更小。 我公司生产和销售的扩束镜主要有三种： CO2 激光扩束镜 (10.6μm) 、Nd:YAG 激光扩束镜 (1064nm、532 和 355nm) 和 HeNe 激光扩束准直镜（633nm