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真空度对Ni80Cr20薄膜中性度的影响.pdf
第39卷第1期 光学仪器 V01．39，No．1
2017年2月 OPTICALINSTRUMENTS February，2017
文章编号：1005—5630(2017)01—0062—06
真空度对Nia0Cr20薄膜中性度的影响
张勇喜，金 秀，杨文华，张艳妹，任少鹏，王瑞生，胡雯雯，杨晓宇
(沈阳仪表科学研究院有限公司，辽宁沈阳110043)
的影响。在高低两个真空度条件下采用电子枪蒸发工艺进行了Nia0Cr20的镀膜实验，结果表
明，低真空度时“薄’’膜的中性度较好，而高真空度时“厚”膜中性度较好。采用X射线能谱分析
发现“薄”膜铬含量高于膜料，而“厚”膜更高，高真空度薄膜略有氧化，而低真空度氧化更严重。
从残余气体和蒸发方式方面分析了镍铬成份差异的原因，再结合氧化对薄膜特性的影响，确定
了不同真空度薄膜中性度差异的原因。
关键词：中性密度滤光片；中性度；镍铬合金； 电子枪；蒸发；分馏
doi：
中图分类号：O484．1文献标志码：A 10．3969／j．issrl．1005—5630．2017．01．011
Theinfluenceofvacuumon ofNi80Cr20filter
neutrality
ZHANG Xiu，YANGWenhua，ZHANGYanshu，REN
Yongxi，JIN Shaopeng，
WANG Wenwen，YANG
Ruisheng，HU Xiaoyu
ofInstrumentationScience 110043，China)
(ShenyangAcademy Co．，Ltd．，Shenyang
characteristicsof andNi80Cr20werecalculatedin to
Abstract：The Ni，Cr
optical theory
determinethe onNi80Cr20when the ofnickelandchromium．
proportions
impact changing
Electron werecarriedout at vacuumandlow
gunevaporationexperiments separatelyhigh
vacuumconditions．Theresultsshowedthatthe”thin’‘filmhadbetter when
neutrality
coatedatlowvacuum。whilethe”thick”filmhadbetter whencoatedat
neutrality high
foundthatthe”thin”filmhadalittlemorechromium
vacuum．X-rayspectroscopyanalysis
andthe
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