SILVACO的学习经验.docVIP

SILVACO的学习经验1.Silvaco的各仿真组件均在DeckBuild中启动，包括结果由可视化工具Tonyplot输出。主要组件包括以下 三个： ATHENA 对工艺（淀积，离子注入，扩散，氧化光刻，掩膜）进行控制，生成器件结构 ALTAS 对器件特性进行仿真计算 DevEdit 编写器件结构和Mesh编辑器2.ATHENA的仿真流程 a.建立仿真网格 命令是line,参数有x、y、location、spacing。x、y分别设定垂直x、y轴的网格线，location(loc)为轴上坐标，spacing为网格线之间间距（单位um） b.仿真初始化 命令是initialize(init) c.工艺步骤（如淀积、光刻、氧化、刻蚀、扩散...） d.抽取特性（如结深、材料厚度、浓度分布...） 命令是extract e.结构操作（导入结构、对结构旋转、对结构做镜像和保存...） 命令是structure 保存文件structure outfile=filename.str 对结构做镜像structure mirror left 结构上下翻转，将衬底置表面structure flip.y 导入结构文件structure infile=filename.str f.Tonyplot显示 3.文件类型 输入文件 *.in(DeckBuil