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SPI no20 MFM（Magnetic Force Microscope） 磁性力显微镜介绍
上海浦东新区张江高科技园区碧波路690 号2 号楼102 室 （201-203）
TEL: (86)-21-5027-3533 FAX: (86)-21-5027-3733
SPI no.20 MFM （Magnetic Force Microscope）
磁性力显微镜介绍
1998.8
MFM作为 SPM （扫描型探针显微镜）之一是对样品表面的磁场泄漏分布图像化。与先前的磁区观察法相
比， MFM在大气中能够同时进行超高分辨率的磁区、塑料的表面形貌测量。
左图是磁盘的 MFM图像，由于采用磁场变调方式进行信息存储，所以从图上可以观察到特征性的月牙
形存储模型。
右图是用 MFM观察长方形的坡莫合金薄膜（膜厚：约40 nm）磁区的图像。
磁盘的 MFM图像 （１０μｍ□） 坡莫合金薄膜的 MFM图像 （4 ０μｍ□）
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