奈米工程与微机电系统.pptVIP

元智大學-實驗力學實驗室 元智大學工程概論 授課講義 夸米工程與微機電系統 （Nano Technology Micro-Electro-Mechanical System (MEMS)) 授課教師:徐澤志 未 來 的 產 品 超「輕、薄、短、小」。 注重環保意識---綠色革命。 省能源、省空間、省材料。 高附加價值。 回收再利用。 定 義 一般而言，所謂「微機電系統」係指：應用奈米與微米加工技術研製微細元件及組件，並整合微電子電路與微控制器的系統（如圖所示）。 內 容 由於各國對微機電系統皆有不同的詮釋，故歸結而言，其內容可分為兩大類： 第一類：認為微機電系統本身的大小在 微米（μｍ）的範圍。 第二類：認為微機電系統是能達到微米 以內的運動精度的機械，而機 械本身的大小沒有限制，一般 認為其體積在1立方公分以下。 優 點 精確度高。 單位成本低。 輕柔運作。 運作速度快。 發 展 歷 程 微 型 行 走 機 器 人 之 研 發 尺寸：8mm X 5mm X 5mm 。 驅動方式：壓電效應配合彈性體共振。 壓 電 效 應 相同壓電下，電場強度與材料厚度成反比，當厚度減到某一程度，僅使用弱電即能產生顯著可用的變形。 使 用 之 材 料