ZnO复合薄膜结构形貌的影响.pdfVIP

第34卷第5期 压 电 与 声 光 Vo1．34No．5 2012年1O月 PIEZOElECTRICS AC0UST0OPTICS 0ct．2O12 文章编号 ：1004—2474(2012)05—0753—03 衬底温度对 AlN／Zno复合薄膜结构形貌的影响 高 扬 ，许绍俊 ，谌青青 ，孟祥钦 ，杨 涛 ，文 忠 ，张彩虹 ，杨成韬 (1．电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室 ，四川 成都 610054；2．川庆钻探有 限公司地址勘探开发研究院，四川 成都 610054) 摘 要 ：采用直流反应磁控溅射法在 ZnO／Si基片上制备 了 良好 (002)(C轴)取 向的AIN薄膜 ，利用 XRD、 AFM对不 同衬底温度下制备的 AlN薄膜 的结构、形貌进行 了分析表征。结果表 明，在一定温度范围内(450～ 650℃)，随着衬底温度 的升高，晶粒逐渐长大，沉积速率增大，表面粗糙度先减小后增大 ；AlN(O02)择优取 向呈改 善趋势 ，取 向度先增大后减小 ，600℃时