微电子机械系统和流体流动 - 力学进展.pdfVIP

第 28 卷　第 2 期 力　学　进　展 V o l28　N o 2 1998 年 5 月 25 日 ADVAN CES IN M ECHAN ICS M ay 25, 1998 微电子机械系统和流体流动 Ch ih M ing Ho M echanical and A ero space Engineering D epartm ent, U niversity of Califo rnia at L o s A ngeles, L o s A ngeles, Califo rnia 90095 Yu Chong T ai E