《真空计量新技术》一书即将出版发行.pdfVIP

关亚兰等 ：TX1800磁控溅射镀膜机冷却系统的改进 145 4 结束语 国内对磁控溅射靶的研究大部分定位在优化磁力线分布方面，对靶的冷却研究较少，目前仍停留在传统 的直接水冷和间接水冷两种方式上，而且冷却结构笨重，冷却效果差。 引入航天火箭发动机冷却领域的最新概念——层板发汗冷却，实现了跨学科思维的巧妙结合，理论上也 保证了设备整体性能的提高。后续将进一步验证这种改进思路的合理性和优越性。将对今后类似方面的研 究起到积极的参政作用。 参考文献： [1]张峰，刘伟强．层板发汗冷却在液体火箭发动机中的应用与发展综述[J]．火箭推进，2007，6 [2]刘翔宇等，磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计 [J]．真空技术，2003，4． [3]孙东明．圆柱形平面式磁控溅射靶的特点和设计原理 [J]．昆明理工大学学报，2000，4． [4]储志强．国内外磁控溅射靶材的现状和发展趋势．湖南省冶金材料研究所，2011年8月． _r -” - ·。 -’ I1 。--¨¨ …‘¨¨-”¨¨t ’‘I… 。’ ．1¨… ¨‘Iin,,,aII |_’” ·。¨¨ 。‘ 。¨‘¨ ’．‘1lJl|_。’’IIi