微机械陀螺振动特性的等效电学模拟1 - 电子与信息学报.pdfVIP

第25卷 第2期 电子 与 信 息 学 报 Vo1．25No．2 2003年 2月 JOURNALOFELECTRONICSAND INFORMATION TECHN0L0GY Feb．2003 微机械陀螺振动特性的等效电学模拟 车录锋 熊 斌 黄小振 王跃林 (中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术国家重点实验室 上海 200050) 摘 要 根据微机械陀螺的动力学方程建立其振动特性的等效电路模型，该模型用电路模拟工具 PSPICE 实现．利用这个电路模型，可以分析陀螺的振动特性，包括检测振动的瞬态响应和稳态响应，检测振动对输入 角速度的频率响应特性，从而可以获得陀螺工作的优化条件；并为传感器与接 口电路的整体模拟打下基础． 关键词 微机械陀螺，等效电路模型，模拟 中图号 TP212．1 1引 言 微机械 陀螺与传统陀螺相 比，具有体积小，重量轻，成本低，可靠性高及可批量生产等优 点，可广泛应用于汽车的安全、导航，摄像机的防抖动，医疗仪器，航空航天，武器