一种三轴硅霍尔传感器的研制.pdfVIP

第 32卷第4期 苏 州 大 学 学 报(工 科 版) V01．32 No．4 2012年8月 JOURNALOFSOOCHOW UNIVERSITY(ENGINEERINGSCIENCEEDITION) Aug．2012 文章编号：1673—047X(2012)一04—0001—06 一 种三轴硅霍尔传感器的研制 孙 恺，王明湘 (苏州大学电子信息学院，江苏 苏州215006) 摘 要：介绍了霍尔传感器的工作原理，针对地磁测量的应用制作了基于十字形结构的硅霍尔传感 器，并测试 了器件灵敏度 。测试结果显示灵敏度与器件工作区的掺杂浓度( )成反比，与器件十字 形结构的长宽比(L／w)成正向依赖关系。详细介绍了磁集中器的原理及集成工艺，测试结果显示制 作的器件实现 了三轴测量，且三轴输出与理论预期相符。 关键词：三轴测量 ；硅霍尔传感器；磁集中器；灵敏度 中图分类号：TB972 文献标识码 ：A 0 引 言 现今，很多器件被用于磁场的测试，如各向异