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DL-10 型真空计说明书 一、 概述 DL-10 型真空计是石英晶振真空计。它的量程较宽，精度较高。该真空计由规管与控制 单元组成，控制单元的数码管显示压强值。 二、 技术要求 5 1、测量范围：10-10 Pa 2、 电源：交流220V,50Hz 3、功率：7W 4、几箱尺寸：200 ×90 ×160mm （宽×高×深） 三、 原理 DL-10 型真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的特性做的真空计。石英晶 振装在铝壳中做成规管，管径为 15.5mm，可通过接口插入系统。谐振阻抗的测量电 路如图 1 所示： 图 1 谐振阻抗测量电路 谐振阻抗 Z= VAB I VAB 为晶振两端电压 I 为流过晶振的电流 电流I 流过与晶振串联的电阻 R ，在电阻两端的电压为VBD ∴ I = VBD R VAB Z= R V BD V 近似等于 AC 两端电压 V ,V