基于m e m s共面波导腔的带阻滤波器的设计.pdfVIP

维普资讯 基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计 赵继德 ，李应 良 ，马传龙 。 (1．烟台师范学院物理与电子工程学院 ，山东 烟台264025； 2．华信邮电咨询设计研究院有限公司，杭州I310014；3．重庆通信学院，重庆 400014) 摘要：应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器。研究了微尺度 电磁学、 力学、温度等效应。利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数，并应用ANSYS软件分析复 合结构的热应力分布，得出了阻带中心频率在 18GHz的MEMS带阻滤波器件，提供 了一些有意义的理 论 分析及应 用 。 关键词 ：射频微机 电系统；滤波器；共面波导；阻带；微尺度效应 中图分类号：TN713．5；TN402 文献标识码 ：A 文章编号：1003—353X(2005)08—0034—04 Design ofM EM SCoplanarW aveguideCavityBandstopFilter ZHAO Ji-de ．LIYing—liang 。MA Chuan-long (1．SchoolofPhysics＆Ele~tr‘o—Engineering，YantaiNormalUniversity，Yantai264025、C^ina； 2 HuaxinPosts ＆ Comm “nicationsConsulting Designing Institute C0 ￡td．Hangzhou 31O014．China 3．ChongqingInstituteofCommun{cnfions．Chongqing．400014，China) Abstract：AnovelbandstopfilterofMEMSCPW (coplanarwaveguide、cavityisdesignedby computer．aideddesignfCAD)method．M icroscaleelectromagnetism，mechanicsandtemperatureare studied．TheMEM SfilterlOSSofCPW iSsimulatedusingANSOFTHFSSSOftware．Thethermalstress ofMEMScomplexstructureiSalsoanalyzedbyANSYSSOftware．Significantsimulationresultsand academicanalyzingoftheMEM SCPW filter，band．stopcenterfrequencyat18GHz．areobtained． Keywords：RFMEM S：filter；CPW ：band．stop；microscaleefFect 此这些射频微机械器件的研发倍受关注。 1 引言 目前在MEMS中，构件材料主要是通过薄膜工 MEMS被认为是尺度特征在亚微米到微米数量 艺制备，因此必须考虑如表面粗糙度、残余应力等 范围，具有感知、控制和执行能力的微系统，广 因素。在薄膜工艺的射频微机械构件 中，MEMS 泛应用于很多行业 (机械 、航天 、通信等)。在 CPW 传输线具有很多优点[21，它可在中心金属导 通信领域主要应用在两个方面 ：微光机 电系统 带上利用微细工艺实现一些复杂结构，并通过蚀刻 (MOMES，opticalMEMS)~I]RFMEMS(RadioFre- 一 些微腔隔离各个金属导带，这些隔离腔其实是一 quencyMEMS)。前者主要应用在光学通信中，后 些耦合缝隙 ：在复合结构的基底上刻蚀微腔结构来 者主要应用在无线通信 中…I。在RFME