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1．5μm波段硅基金属光栅单向透射的研究.PDFVIP

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  • 2017-07-03 发布于天津
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1．5μm波段硅基金属光栅单向透射的研究.PDF

    1．5μm波段硅基金属光栅单向透射的研究

    《 》 ： 半导体光电 年 月第 卷第 期 陈泳屹等 波段硅基金属光栅单向透射的研究 ２０１３ １２ ３４ ６ １．５ ｍ 　 μ  、 材料 结构及工艺 １．５ ｍ 波段硅基金属光栅单向透射的研究 μ ， ， １２ １ １ １ １３ ， ， ， ， 陈泳屹 秦 莉 佟存住 王立军 刘益春

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