电阻式半导体气体传感器_张强.pdfVIP

　2006 仪 表 技 术 与 传 感 器 2006　 　7 Ins rumen 　Technique 　and 　Sensor No.7　 张　强, 管自生 (　, 　210009) 　　:综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作 法和加速传 感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状, 展望了电阻式半导体气体传感器的发展 向。 :气体传感器;气敏机理;特性 :TN304;TP212　　　文献标识码:B　　　文章编号:1002-1841(2006)07-0006-04 Gas Sensors of Electric Resistance Semiconductors