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光滑表面粗糙度Rz 参数的一种干涉测量法 - 物理通报
年第 期 物理通报 物理实验教学
2016 1
光滑表面粗糙度 参数的一种干涉测量法
Rz
褚长亮 屈光辉
( )
西安理工大学理学院 陕西 西安
710054
王武孝
( )
西安理工大学材料科学与工程学院 陕西 西安
710054
刘满仓 刘如军 张 琴
( )
西安理工大学理学院 陕西 西安
710054
( : )
收稿日期 2015 10 14
:
摘 要 介绍了一种光滑表面粗糙度 参数的干涉测量法 该方法用空气膜层上表面与样本表面的基准面平
Rz .
, ,
行的方式来观察等厚干涉条纹 用干涉条纹间的相对运动来判断样本表面的峰谷 同时也给出了新的 计算公
R
z
、
式 该方法测量过程较简单 对仪器要求较低且有助于样本的表面微观形貌分析
. .
:
关键词 表面粗糙度 干涉测量法 表面微观形貌分析
,
气膜层上时 在其上下表面反射的光将会发生干涉.
1 引言
,
若样本表面有微小的起伏 将会在显微镜中观察到
,
表面粗糙度是机械加工领域经常用到的一个参 如图 所示的弯曲等厚干涉条纹 它们是样本表面
2
,
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