涡旋式真空泵的发展回顾.PDFVIP

通用机械制造 GM Manufacture 涡旋式真空泵的发展回顾 西安交通大学流体机械及压缩机国家工程研究中心 （陕西 710049） 李泽宇 李连生 【摘 要】 了涡旋真空泵的高效性，并对如何消除余隙容积、控制 对涡旋式真空泵的发展进行了回顾。对 目前国内外市场上较为常见的干式涡旋真空泵产品进行 间隙等提出了有效的方法。 了比较。据此，根据有利于国内工业化生产等原则研制 了一种结构更为简单，更易于加工和装配的干式涡旋真 空泵实验样机，并对其中的相关技术进行了研究。 【关键词】 涡旋 真空泵 回顾 一、前言 涡旋真空泵是利用一对结构相同、相位相差180° 的涡盘在一定偏心距下相互啮合形成的月牙形容积周期 性的变化达到抽真空的目的。它具有可靠性高，振动 小，噪声低，易于维修等优点。根据转动方式的差异， [1] 可分为公转型和自转型两种 。 图1 立式油润滑涡旋真空泵 二、涡旋式真空泵 1.真空腔 2.大 5.直流电动机 6.排气口 7.吸气口 8.驱盘 10.十字滑环 早在20世纪80年代早期，Coffin DO就已经把涡旋 随着涡旋真空泵在半导体行业中应用的不断扩 真空泵应用在高真空系统中[2]。涡旋真空泵的研究热 大，人们开始致力于干式涡旋真空泵的研究。干式涡旋 潮始于20世纪80年代末期。1988年，日本东京大学的 真空泵与油润滑涡旋真空泵的区别在于泵腔内不含任何 Morishita E[3]研制了抽速为200L/min的立式自转型油润 的油类和液体。因此解决泵内的密封和冷却问题，是干 滑涡旋真空泵，其结构如图1所示。与公转型涡旋真 式涡旋真空泵研究的关键。1990年，Kushiro T[4]研制了 空泵相比，该泵的径向间隙具有易于密封和控制的优 抽速为600L/min的卧式干式涡旋真空泵，其结构如图2 点。与当时市场上广泛使用的旋片真空泵相比，涡旋 所示。该泵可以达到的极限压力为5×10-3Torr。它采用 真空泵具有更高的容积效率，极限压力达到1×10-4Torr 水冷的方式解决泵内各部件的润滑和冷却等问题。冷却 （1Torr=133.322Pa，下同），下降了80%，泵内的振动 水通过主轴内的通道对电动机、轴承、轴封等处进行冷 和噪声水平都有所降低。此外结构更紧凑，整机的重量 却。为了避免泵腔内气体因温度过低而凝结，冷却水并 和体积分别减少了12%和40%。Morishita E的研究表明 不对工作腔进行冷却。Kushiro T的研究表明了干式涡旋 2010年 第1期 通用机械 87 通用机械制造 GM Manufacture 真空泵的可行性，还有效地解决了动静盘热力变形造成 的相互接触，离心力造成的动盘振动等问题。