传感器原理与应用主编戴焯第六章压电传感器.pptVIP

第一节 压电传感器工作原理 一、压电效应 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，在介质内部将产生极化现象，而在介质的两个表面会产生数量相等、符号相反的电荷，形成电场；当外力去掉后，又重新回到不带电状态；当外力方向改变时，电场的极性也随着改变，这种现象被称之为压电效应。相反，在电介质极化方向施加电场时，这些电介质会产生变形，这种现象称之为逆压电效应，或电致伸缩效应。 串联接法：输出电压大、电容小、适合用于以电压作为输出信 号、测量电路输入阻抗很高的情况。（前置放大器） 并联接法：输出电荷量大、电容大、时间常数大，适合用于测量 缓慢变化信号、且以电荷作为输出的况。（电荷放大器） 压电敏感元件是力敏元件，它能测量最终能将被测量转换成力的哪些物理量，如：压力，应力、位移、加速度等。尤其适合动态测量，绝大多数加速度（振动）传感器属于压电式传感器。 主要缺点： 一、压电转换元件无静态输出，必须有一定的预应力，以保证在作用力变化时，压电元件始终受到压力。其次，是保证压电元件与作用力之间的全面均匀接触，获得输出电压（或电荷）与作用力的线性关系。 二、输出阻抗高，需高输入阻抗的前置放大器作为匹配，并且，很多压电元件的工作温度最高为250℃ 。 图6－9是电压输出型压电传感器典型测量电路。前置放大器OPA604是美国BB公司生产的双列直插式8脚运算放大器，该放大器输入级采用P沟道场效应管，因而具有很高的输入阻抗，其差模输入阻抗为1012Ω∥8PF，共模输入阻抗为1012Ω∥10PF，总失真在增益为1、f=1KHZ时为0.0003%。图6－9中1MΩ为运放静态偏流通道电阻；压电输出信号经屏蔽线联至运放输入端，测量电路增益约为100倍。 图6－9 OPA604前置放大器 电压输出型压电传感器测量电路 三、电荷输出型测量电路 由图6－7可知，并联输出型压电元件可以等效为一个电荷源，由于压电效应所产生的电荷量很小，只能形成PA级的电流，因而在接成电荷输出型测量电路时，亦要求前置放大器不但有足够的放大倍数，还需要有极高的输入阻抗。压电传感器电荷输出型测量电路原理电路如图6－10所示。 图6－10 电荷输出型测量电路原理图 图中R 和C 分别表示前置电荷放大器的等效入端电阻 和等效入端电容，其中 式中Rd 代表测量电路 的漏电阻，Ri 代表放大器入端电阻；C = CO+Ci，式中CO 代表测量电路联线分布电容，Ci 代表放大器入端电容。 电荷放大器是一个具有深度电容Cf负反馈的高增益放大器，略去极高的Rd和Ri的影响时，测量电路的输出电压为 （6－15） 式中A 为电荷放大器开环放大倍数，通常A＞＞1， 即ACf＞＞Ca+Co+Ci，此时 （6－16） 上式表明电荷放大器输出电压仅与电荷qa成正比，与反馈电容Cf成反比，而与电路中其它参数基本无关，因而只要保持Cf不变，就可以得到输出电压Uo与压电效应电荷qa成单值线性关系，这是电荷输出型测量电路的一个重要特性。同时可以看出，Cf 越小，输出电压Uo 越大，输出电压灵敏度越高；但过大的Uo 容易造成后级放大器输入信号的饱和，因而Cf 的选择应视具体电路而定。另外，考虑电容Cf 对直流信号开路，为了抑制零漂，使测量电路工作稳定，一般都在反馈电容上并联足够大（109～1012Ω）的反馈电阻Rf ，以提供直流反馈通道。 高频时，电路中的各电阻大于各电容容抗，略去R讨论电路特性符合实际情况；电荷放大器的频率响应上限取决与运算放大器的频率特性。 低频时，R与Ca、Co比仍可忽略，但Rf与Cf比，不能忽略， 电荷放大器的3db下限截止频率为fL=1/2πRFCF 。 图6－11是电荷输出型压电传感器典型测量电路。其电荷放大器是美国BB公司生产的金属管壳8脚运算放大器OPA128，其差模输入阻抗为1013Ω//1PF，共模输入阻抗为1015Ω//2PF，输入偏流为0.075PA，输入端接入闭合的屏蔽环，屏蔽环通过短引线接至信号地和运放管的金属壳8，以减小漏电流和入端噪声的干扰。 图6－11 OPA128电