海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制 - 沈阳药科大学图书馆.pdfVIP

维普资讯 第 43卷第 5期 真 空 VACUUM Vol。43．No．5 2006年9月 Sep．2006 海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制 孙 清 ，魏海波 ，池世春。，栾居里 (1．沈阳新北方玻璃有限公司，辽宁 沈阳 110136； 2．沈阳药科大学高等职业技术学院，辽宁 沈阳 110026； 3．中科院 沈阳自动化研究所现代装备研究设计中心，辽宁 沈阳 110016； 4．沈阳职业技术学院，辽宁 沈阳 110045) 摘 要：根据磁控溅射中海绵的传动特性，建立了传动控制的数学模型，采用带有矢量的变频调速器实现了海 绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制，满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。 关键词：变频调速 ；张力控制；矢量控制；海绵卷绕系统 中图分类号：TB43 文献标识码：B 文章编号：1002—0322(2006)05—0053—03 Transfermotioncontrolofspongecoilduringvacuum magnetron sputteringfilm coating SUNQing，WEIHai—bo0，CHIShi—chun。，LUAN Ju—li‘ (1．ShenyangNew NorthernGlassCo．，Ltd，Shengyang 110136，China； 2．HigherVocationalTechnology CollegeShenyangPharmaceuticalUniversity，Shenyang 110026，China； 3．Shenyang Instituteof Automatino CAS，EquipmentRDCenter，Shenyang110016，China； 4．ShenyangVocatinoalTechnolo- gYCollege，Shenyang 110045，China) Abstract：Amathematicmodelwasdevelopedforthetransfermotioncontrolofaspongecoilinvacuum magnetronsputter- ingfilmcoatingprocess，accordingtothepropertiesofspongecoilduringcoiling／decoIlingoperationwhichrquiresno—tension transfermotion．Tocontrolthetensionofspongetapeduringcoiling／decoiling，vectorfrequencyconverterswereusedto meettheno-tensionrequirement． Keywords：speedregulation；frequencyconverter；tensioncontrol；vectorcontrol；spongecoiling／decoiling system 泡沫镍是镍一氢，镍一镉等二次充电电池的骨 I 真空磁控溅射海绵卷绕镀膜的基本方法 架材料，采用该材料可有效地提高镍充 电电池的性 能。泡沫镍的制造是我国镍一氢电池材料行业发展 泡沫镍的制造过程是先在海绵两侧镀上一层镍 的主导方 向，而制造泡沫镍 的首要任务是实现泡沫 以使海绵导 电化，然后用 电镀 的方法在海绵上大量 镍的载体——海绵体的导电化 问题 。目前将海绵卷 镀镍 ，最后在氢气的保护下还原，烧掉海绵，就可以 导电化处理的诸多方法 中，采用真空磁控溅射技术 得到网格状的泡沫镍。海绵的导 电过程如下： 是非常行之有效的方法