真空泵的选择.pdf

2on (0．7 (乏薜技术协作信息 技术雅广与应用 真空泵的选择 李泽新 ／牡丹江高科生化有限公司 一 、 选用真空泵时。需要注意下列事项 选用泵的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照：真空计算 1．真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要 公式。 ， 求。如：真空镀膜要求 l×10-~mmHg的真空度 ，选用的真空泵的真空度至 真空常用公式 ： 少要5×10-SnmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到 1．玻义尔定律。 一 个数量级。 体积V，压强P，P·V常数 一定质量的气体，当温度不变时，气体的 2．正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，压强与气体的体积成反比。即P1／P2=V2／V1 如：扩散泵为 10-3,．．10—7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而 2．盖 ·吕萨克定律。 变化，其稳定的工作压强范围为5×10 5×10-~nmHg。因而，泵的工作点 当压强P不变时，一定质量的气体，其体积v与绝对温度T成正比： 应该选在这个范围之内，而不能让它在 10—8rnmHg下长期工作。又如钛 V1，、，2=T1，r2=常数 当压强不变时，一定质量的气体 ，温度每升高(或P 升华泵可以在 m-~．mng下工作，但其工作压强应小于 1×10-SmmHg为 降低)1℃，则它的体积比原来增加(或缩d~)1／273。 好。 3．查理定律。 3．真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全 当气体的体积V保持不变，一定质量的气体，压强P与其绝对温度T 部气体量。 成正比，即：P1P／2=T1T／2在一定的体积下，一定质量的气体 ，温度每升 4．正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而 ，有时选用一 高(或降低)1℃，它的压强比原来增加(或~ )12／73。 种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要 4．平均自由程。 求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵 ， =(5×10-~)／p(cm) 、 (或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速，两者组合起来，便 5．抽速。 会使真空装置得到较好的真空度。另外 ，有的真空泵不能在大气压下工 S=dv／dt(升 ／秒)或 S=Q／P 作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要 Q=流量(托 ·升，秒)P=压强(托) v=体积(升)t=时间(秒) 把泵组合起来使用。 6．通导。 5．真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无 C~Q／(P2一P1)(升 ／秒)． ． 油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严 7．真空抽气时间。 格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等， 对于从大气压到 1托抽气时间计算式：t=8VS／(经验公式) 也能达到清洁真空要求。 V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟内选择。 6．了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无 8．维持泵选择：S维=s前 ／10 腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的 9．扩散泵抽速估算：S--3D2(D=直径em) 泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口 1O。罗茨泵的前级抽速：s=(0．1—0．2)S罗㈧ 管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 11．漏率。 7．真空泵排出来