真空器件中电极表面微结构对其二次电子发射性能的影响.pdf

· 电 子 陶 瓷 、陶 瓷 一金 属 封 接 专 辑 ‘ 真空器件中电极表面微结构对其二次 电子 发射性能的影响 黄艳峰，张文斌，李荣洁，曹亮亮，曾燕伟 (南京工业大学材料学院，江苏 南京 210009) ImpactsofSurfaceM icrostructuresoftheElectrodesinVacuum DevicesonTheirSecondaryElectronsEmission Performances HUANGYan—feng，ZHANGWen—bing，LIRong—jie，CAOLiang—liang，ZENGYan—wei (SchoolofMaterialsScience Technology，NanjingTechUniversity，Nanjing210009，China) Abstract：On thebasisofabriefreview ofthesecondaryelectronsemissionperformancesofmetalsand theresearchontheelectrodematerialswithlOW secondaryelectronemissioncoefficientsforTWT’SMDC， theimpactsofthesuperficialspire—-arraymicrostructuresofelectrodesinMDC ontheeffectivesecondarye—— 1ectronemissioncoefficienthavebeen analyzedby afiniteelementnumericalcalculation．Furthermore，a novelsurfacemicrostructurewith3-dimensionalnetworkoftheelectrodeswithultralow secondaryelectron emissioncoefficientareproposedanddiscussedinregardtoitspotentialmerits． Keywords：Secondaryelectronemission，Electrodematerials，Surfacemicrostructures 摘要 ：本文在概述金属材料二次电子发射性能和用于行波管多级降压收集极的低二次电子发射系数电极材料研究的基 础上，对 电极材料表面尖锥阵列微结构层对二次电子发射性能的影响进行了有限元计算分析，进而提出了具有三维网络结构 的电极表面微结构层概念 ，为构建新型超低二次电子发射系数电极材料提 出了思路 。 关键词 ：二次 电子发射 ；电极材料 ；表面微结构 中图分类号 ：TB741 文献标识码 ：A 文章编号 ：1002--8935(2014)05--0062—04 在电真空器件 中，电极表面或腔体 内壁受电子 飞向电极表面的电子总可以通过与电极 的碰撞产生 轰击时引起二次电子的发射会直接影响着器件的性 一 定量速度矢量背向电极表面的二次电子和背散射 能。因此 ，电极材料必须根据器件性能要求进行合 电子 。这些 电子在减速电场的作用下可能造成严重 理选择 ，或增强 、或抑制二次电子 的发射 ，从而达到 的返流，增加高频热耗散功率并形成噪声 ，使行波管 器件性能 的优化|1]。行波管是一种广泛应用于雷 技术性能恶化 口]。所 以，为 了实现 MDC对失能 电 达、通信、导航、探测、以及空间电子技术领域中的重 子的有效收集 、有效抑制 MDC电极二次 电子发射 ， 要微波功率器件 。为提高行波管整管效率 ，不仅需 对避免二次电子返流造成的行波管性能恶化是至关 要有高效率的高频电子注互作用系统和高性能的电 重要 的。 子光学系统，同时还要求具备高效率和高性能的失 本文对金属材料二次电子发射性能和用于行波 能电子收集系统。多级降压收集极(MultistageDe— 管收集极的低二次电子发射系数电极材料研