真空退火炉真空检测技术研究.pdf

工业 技 术 2015年第9期 l科技创新与应用 真空退火炉真空检测技术研究 李文涛 赵 奇 吴公平 (宝鸡宝钛集团有限公司板带厂，陕西 宝鸡 721014) 摘 要：文章详细地介绍了工业真空退火炉的真空测量方法及真空测量真空计的应用；还介绍了真空系统检漏方法。 关键词 ：真空测量 ；真空计 ；真空检漏 1概述 漏气率 ，以便修补。真空技术中所指的漏孔是非常微小的，其截面形 真空退火炉 自二十世纪五十年代被广泛地应用，真空退火是其 状各不相同，无法用具体尺寸表示其大小，加之漏气路径各式各样。 中间和成品生产的重要工艺过程。真空退火具有防止氧化、真空脱 所以一般用漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小，即气体通过漏 气、处理工件无氢脆危险，防止钛和难熔金属表面脆化、真空加热受 孔进入真空系统或容器内的气体量，其物理意义为压强×体积，时 热均匀，内外温差小，热应力小等作用；真空退火技术是材料改性方 间，漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。 面高精度、优质、节能和清洁无污染加工制造技术，广泛应用于各种 3．2泄漏检测方法 金属材料、合金材料，晶体材料等去应力处理，光亮退火，真空除气 真空系统或容器无法做到完全不泄露，因此要根据真空系统的 等。而如何测量真空度和检测真空系统泄漏是真空退火炉使用维护 实际工作要求，制定合理的泄露率数值，只要漏孔的漏率低于规定 的重要问题，文章介绍了真空退火炉设备管理使用维护中常用的真 数值，这些漏孑L就是允许的。如果发现泄漏率超过规定数值，说明真 空测量方法和真空系统捡漏方法，这些方法和经验可为以后真空退 空系统或容器存在漏孑L，这时就需要我们进行真空泄漏检查。真空 火炉使用维护、检测和研究方面，提供了一定的实际操作经验和理 检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检 论支持。 漏法及其它检漏法。 2真空测量 3．2．1充压检漏法。压力检漏法是将被检系统或容器抽至真空， 2．I真空测量的定义 然后充入具有一定压力的示漏物质，如果被检漏容器上有漏孔存 真空测量就是测量容器中或某部分空间气体的稀薄程度 (即真 在，示漏物质就会从漏孑L中逸出，从而可以通过一定的方法或检漏 空度)的技术。真空度常用容器中气体的总压强P来表示。压强高意 仪器在被检容器外检测出从漏孑L中漏出的示漏物质，判断出漏孔位 味着真空度低；反之，压力低即真空度高。因此，在近代真空测量技 置，并估计漏孔漏率的大小。 术中，通常应用真空计来直接或间接测量出压强，从而反映出真空 常用充压检漏有水压法、气压法 、超声法、氦质谱检漏仪吸嘴 度。气体压强的测量单位是牛顿／米 。，简称~t(Pa)，传统上气体压强 法、氮气检漏法等。氨气检漏法的原理是把真空系统或容器抽成真 单位采用毫米汞柱，各种压强单位的换算：1标准大气压,=101325．0 空，在器壁外面可疑有漏孔处贴上具有对氨敏感的指示剂的显影 Pa=14．7Psi=760mmHg=29．92inHg=760Torr=-760000micron=1Bar 带，然后在容器 内部充人高于一个大气压的氨气，当有漏孔时，氨气 2．2真空计的分类 通过漏孔逸出，使显影带改变颜色，据此可找出漏孔的位置，由显影 用以测量容器中气体压强即真空度的装置称为真空计。按真空 时间、变色区域大小可大致估计出漏孔大小。 计测量原理分类：直接测量真空计和间接测量真空计。 3．2．2真空检漏法。真空检漏法是将被检的真空容器或真空系 2．2．1直接测量真空计 统与检漏仪器的检测元件抽成真空状态，将示漏物质依次施加在被 直接测量真空计利用液柱差、机械变形等原理直接测量压强， 检容器或系统外面的可疑部位。如果被检容器或系统存在漏孑L，示 所测量的压强为真实的压强值与气体种类无关 ；常用直接真空计有 漏