磁控溅射制备zno薄膜及其声表面波特性 - 超快光学实验室.pdfVIP

第 56 卷 第 6 期 2007 年 6 月 物 　理 　学 　报 Vol.56,No.6,June,2007 ( ) 10003290200756 06 351506 ACTAPHYSICASINICA 2007Chin.Phys.Soc. 磁控溅射制备 ZnO 薄膜及其声表面波特性 ) ) ) ) 杨 　光1 2 3 　SantosPauloV. 3 )( ) 1 华中科技大学武汉光电国家实验室激光科学与技术研究部 ,武汉 　430074 )(