磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及介电性能的影响 - 陕西师范大学学报.pdfVIP

第 卷 第 期 陕西师范大学学报（自然科学版） ４２ ５ Ｖｏｌ．４２ Ｎｏ．５ 　 　 年 月 （ ） ， ２０１４ ９ ＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｈａａｎｘｉＮｏｒｍａｌＵｎｉｖｅｒｓｉｔ ＮａｔｕｒａｌＳｃｉｅｎｃｅＥｄｉｔｉｏｎ Ｓｅ． ２０１４ 　 ｙ ｐ 　 文章编号： （ ） １６７２４２９１２０１４０５００３７０６ 磁控溅射参数对钛酸锶钡薄膜生长及 介电性能的影响 谢晓康，缑园渊，杨 佳，边小兵，周剑平