磁控溅射镀膜的专利技术分析 - 工业技术创新.pdfVIP

工 业 技 术 创 新 第 0 3 卷 第 0 5 期 2 0 1 6 年 1 0 月 Vol.03 No.05 Oct.2016 Industrial Technology Innovation 原 霞 等 ： 磁 控 溅 射 镀 膜 的 专 利 技 术 分 析 磁控溅射镀膜的专利技术分析 原霞，王衍强 （国家知识产权局专利局专利审查协作广东中心，广东黄埔，510530） 摘 要： 磁控溅射技术越来越受到广泛应用通过对全球磁控溅射领域 的专利 申请数据进行 的 检索比较和分析 尤其重点关注并研究了该领域 的专利 申请量申请人分布情况和技术改进 方 向 最后给出了针对该领域的专利 申请对策和建议 为国内发 明成果走 向世界提供了启示