耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制.pdfVIP

第32卷第4期 低 温 与 特 气 Vo1．32．No．4 2014年8月 Low TemperatureandSpecialtyGases Aug．，2014 · 工艺与设备 · 耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制 金花子，吴 杰，南 泉，熊天英 (中国科学院金属研究所，辽宁沈阳文化路72号 110016) 摘要：采用化学镀、氟涂料和真空离子镀 (PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层 ，对转子和定子采用化学镀镍磷和氟 涂料封闭技术制备防护涂层 ；对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备 Cr／CrN多层复合防护镀层。通过腐蚀试验表 明，防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀，能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命。 关键词：特种气体；真空泵 ；腐蚀；防护涂层 中图分类号：TB752 文献标志码：A 文章编号：1007-7804(2014)40—0016—03 doi：10．3969／j．issn．1007-7840．2014．04．040 DevelopmentofCorrosion-ResistantDryScrollVacuum Pump ForSpecialtyGases JINHuazi，wUJie，NANQuan，XIONGTianying (InstituteofMetalResearch，CAS，Shengyang110016，China) Abstract：Electrolessplating，fluorinecoatingandvacuum ionplating(PVD)technologytoimplementprotectivecoatings dryscrollvacuum pumps，therotorandstatorusingelectrolessnickelphosphorusandfluorinecoatingtechnologytoprepare sealedprotectivecoatings；crankshaftandcrankpinusingPVD technoloyg toprepareCr／CrNmuhilayerprotectivecoat— ings．Corrosiontestshowedthatbyetching，aprotectivecoatingcanbealongresistanttoCOrrosivegases，caneffectively improvethedryscrollvacuum pumplife． Keywords：specialtygases；vacuum pump；corrosion；protectivecoatings 涡旋真空泵 的研究始于 2O世纪 8O年代末 铝合金材料，防护方法采用阳极氧化法 。涡旋干泵 期L】引，随着涡旋真空泵在半导体行业中的应用不断 由于没有油的冷却和密封，抽气系统直接接触介质 扩大，对洁净的真空系统获得要求也越来越苛刻，使 气体使定子和转子对气体温度和压力产生了比较复 得涡旋真空泵在应用中的表现也越来越不能令人感 杂的变化 。虽然现有技术 中的涡旋干泵可以获得洁 到满意。因此，人们开始致力于涡旋干式真空泵 净的真空环境，但这类涡旋干泵在使用中普遍存在 (简称 ：涡旋干泵)的研究。到 目前为止，涡旋干泵 耐蚀性差的问题 ，尤其是在特种气体、等离子刻蚀、 的研究和生产主要集中在美国、日本和欧洲，以日本 生物制药和化工化学等工艺 中，阳极氧化膜难以抵 Anestta、美国Varian、德国Busch等为代表，形成了 抗高腐蚀性气体的长时间腐蚀，严重影响了涡旋干 系列产品。国内真空行业相关企业也对涡旋干泵进