蓝宝石单晶的质量评价及检验方法.pdfVIP

2014年 ·第 4期 材料综述 材料科技与设备 蓝宝石单晶的质量评价及检验方法 张学军 ，杨鑫宏，李铁 (哈尔滨奥瑞德光电技术股份有限公司，黑龙江 哈尔滨 15O431) 摘要：针对 目前蓝宝石单晶在半导体衬底、激光窗口等方面的广泛应用，本文主要介绍了光学级蓝宝石单晶 (包括晶 棒 、晶片或晶块)的内部质量要求及作为LED衬底应用所需进行的质量检验。 关键词 ：蓝宝石 ；缺陷；检验方法 中图分类号：TB321 文献标识码 ：A 不及迁移则可能相互聚集进而形成空洞。另一方面，熔体 0 引言 中包裹的气泡或杂质将来不及排出即被凝固到晶体内，形 成气泡或包裹体。 蓝宝石单晶以其优异的综合性能成为 目前使用最广泛的 CaN外延衬底材料。此外，蓝宝石还被用于军事装备方面， 1．2位错、小角度晶界、层错与双晶 如导弹整流罩、瞄准吊舱、透明装甲等。在民用方面，蓝宝石 除因杂质析出引发的位错 ，晶体凝固过程中的原子错 可用于条码扫描仪窗口、光学透镜、晶片舟、耐磨轴承、手表 排、高温快速冷却后保留的空位聚合及在应力作用下晶体 表镜等。目前，蓝宝石在手机摄像头和手机屏方面的应用已然 内局部区域滑移也会产生位错。位错具体体现为晶体中某 开启，并将很快成为蓝宝石的另外一个大的应用市场。 一 几何面两侧发生相对位移的区域和其它未发生相对位移 很多应用领域对蓝宝石光学特性都有严格的要求。因 区域的边界线，其基本类型有三种，包括刃型位错、螺型 此 ，蓝宝石单晶的内部质量的检验与评价方法对于能否满 位错和混合位错L3]。三种位错示意图见图1。 足后续应用的要求至关重要。 1 人工蓝宝石单 晶中常见 的缺 陷 类型 位 理想晶体中的原子排列具有严格的周期性 ，而在实际 晶体中由于各种原因常会出现原子位置的偏离，形成缺陷。 缺陷对晶体的各方面性质有非常大的影响，晶体缺陷按维 )‘刃受位惜 b)蠕壅位错 数可分为点缺陷、线缺陷和面缺陷三类。点缺陷主要指空 位、填隙原子、杂质原子等；线缺陷以位错为代表 ；面缺 陷有平移界面、孪晶界面及晶粒晶界三大类，其中平移界 面包括堆垛层错、反相畴界和结晶切变面等。 人工蓝宝石单晶中的主要包括气泡、云雾、包裹体、 位错、层错、双晶、裂纹等缺陷。气泡在人工晶体，尤其 在熔体法生长的晶体中非常常见。气泡会降低晶体在光学、 c)混合位错 力学等方面的性能，严重限制了蓝宝石晶体在军工和民用 图 1 三种位错示意图 领域的应用。对于 目前蓝宝石的主要应用——蓝绿光 GaN 外延衬底晶片，蓝宝石内部缺陷将严重影响到外延片的质 量，进而影响LED器件的性能。 1．1气泡、云雾与包裹体 厶 口 晶体的原子处于不断的运动当中，当存在热起伏时， 某些原子获得足够的能量则可以脱离开它的平衡位置，在 原来的位置形成一个空位_l1-2]。“空位浓度”是指晶体 中空 位总数和结点总数的比值。 在晶体中，空位的数量和位置是不断变化的，在一定 温度下存在一个平衡空位浓度。温度越高，平衡空位浓度 图2 小角晶界示意图 越大。晶体生长时若降温速度过快，一方面过多的空位来 *作者简介：张学军 (197