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2017-07-03 发布于天津
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浙江大学学报工学版第卷第期 ’ ).?!@)?# ! # 年月 ()*+,-.)/01234-,56,472+849:;,54,22+4,5=42,=2’ (-,?$%%$ $%%$ # 关于镍薄膜热电阻研制的几个问题周金芳梁素珍 F 浙江大学信息与电子工程系浙江杭州 F !#%%$C’ 摘要就镍薄膜热电阻研制过程中的选材工艺稳定性等问题进行了探讨实验结果表明可以选用国产号 A G G F A % 镍采用枪磁控溅射技术制备镍薄膜热电阻合适的热处理工艺是保证电阻温度系数值及其一致性的关键运 F B M M N 用保护膜技术可以提高镍薄膜热电阻温度传感器的长期稳定性H 关键词镍薄膜热电阻温度传感器 A M M 中图分类号A Q!M !%R?S 文献标识码A 文章编号A#%%SBDC! $%%$’%#B%%B%! OP O@ T U d VWXYZ[W\]^Y_Y‘\Xa]b]aZc‘Yea‘f [gYhfi‘hYWaW[i]ZY B F B 0jk6 (4,/-,5 lmT@n *K12, F F !#%%$CF ’ opqrstupvtwxyvxwsurtzwv{ |}p~tswvz~|v!zvppszv! #p$zrv!%vzps’zt( )rv!*#w+ ,#zvr A F F V-W[hiZ[ .48=*882L8)I2/2:-802=988*=1-8I-92+4-.82.2=94), 0+20-+-94),I291)L -,L89-14.49:4IB B ? %3 0+)72I2,94,L272.)04,5@4=/.2/4.I 912+I-.+28489-,=2 O12+28*.9881)2 91-9 @4=/.2=-,12*82L-8 B B =-,L4L-92I-92+4-./)+L272.)04,5@4=/.2/4.I 912+I-.+28489-,=2-,L5*,I-5,29+),80*992+4,5912-0B ? 0+)0+4-920+20-+-94),I291)L T00.:4,512-99+2-9I2,9-,L-LL494),-.*.9+-914,)+5-,)84.4=),/4.I8L20)84B 94),=-, F B /2209