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中国科学: 技术科学 2014 年 第44 卷 第10 期: 1087 ~ 1096 《中国科学》杂志社 论 文 SCIENCE CHINA PRESS 大面积纳米压印揭开式脱模建模与模拟 ① ①②* ② ② 李增辉 , 兰红波 , 刘红忠 , 丁玉成 ① 青岛理工大学纳米制造与纳光电子实验室, 青岛 266033; ② 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室, 西安 710049 * E-mail: hblan99@126.com 收稿日期: 2014-03-02; 接受日期: 2014-06-23 国家自然科学基金“纳米制造的基础研究”重大研究计划(批准号:、国家自然科学基金(批准号:、教育部新世纪优 秀人才支持计划(批准号: NCET-11-1029)和青岛市创业创新领军人才计划(批准号: 13-CX-18)资助项目 摘要 大面积纳米压印是一种高效、低成本和批量化制造大面积微纳米结构的