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洁净技术的历史与发展 天津大学环境学院 涂光备 前言 际研讨会，这是两年一度的研讨洁净技术的国际高端学术会议。本人有幸随中国污染控制学 会(CCCS)主任王尧教授出席了会议。大会特邀了欧洲资深人士、瑞士空气净化协会主席 希赫特·汉斯博士(H·H·Schicht)发表了题为“洁净技术40年的一些历史性标记”的大 会演讲，很受启发。为此，不揣浅陋，整理了这篇反应国内洁净技术发展历程的文章，供读 者参考。 洁净技术是一门以防止生产与研究工作受环境因素的干扰和影响，保护产品或研究对象 不受有害物质污染为核心内容的新兴技术。它是一门综合建筑、空调通风和纯水、纯气供应 等多个专业的专门技术。 了解或总结一门学科或技术的历史与发展，是推动这门学科或技术继续向前迈进的一个 重要方面。而笔者囿于学识，实难独担此重任，期盼抛砖引玉，为共同促进本学科的发展， 尽绵薄之力。受笔者所从事研究领域的局限，本文仅侧重在空气净化技术范围；又由于国内 相关文献资料匮乏零散，难于逐一核查，文中难免发生遗漏或偏颇之处，尚盼给予赐教。 文中插入了同期国际主要动态，以期与中国洁净技术发展的进程相对照。 I、洁净技术的诞生 洁净技术(cleanroom)是适应实验研究与产品加工的精密化、微型化、高纯度、高质 量和高可靠性等方面要求而诞生的一门新兴技术。 洁净室(cleanroom)这个名词和概念源于18世纪六十年代的欧洲医学，当时的理解仅 限于经喷洒消毒后可以控制创部感染率的处置室、手术室这类灭菌处理的工作环境。 现代洁净室虽然延用了这个名词，但在定义和内涵上都与原有的概念有根本的不同，现 代洁净室形成一项专门技术，其历史不过只有半个世纪。 一切技术的产生与发展，都是出于生产的需要，洁净室技术也不例外。在第二次世界大 战期间，美国生产的飞机导航用气浮陀罗仪，由于质量不稳定，每10个陀罗仪平均要返：。[ 120次。50年代初朝鲜半岛战争期间，美国的16万台电子通讯设备，更换了百万个以上的 电子部件，雷达出故障的时间占84％，潜水艇声纳出故障的时间占48％。原因都是电子器 件、零部件的可靠性差，质量不稳定。军方与厂商究其原因，最终从多方面判定与生产环境 不清洁有关。尽管当时曾不惜工本，采取了种种严密措施来封闭生产车间，但收效甚微。直 到50年代初，将美国原子能委员会为解决对人体有害的放射性尘埃的捕集问题，于1951 ParticulateAir Filter)应用于生产 年研制成功的高效空气过滤器(HEPA——Hi曲Efficiency 车间的送风过滤，才真正诞生了具有现代意义的洁净室。 National 1961年美国桑第阿国家实验室(Sandia Laboratories)的高级研究人员怀特菲尔 flow)的洁净室气流组织方案，并应用于实际工程。从此洁净室达到了前所未有的更高洁净 级别。 同年美国空军制定颁发了世界上第一个洁净室标准TO一00一25--203空军指令“洁净 室与洁净工作台的设计与运转特性标准”。在此基础上，1963年12月公布了将洁净室划分 为三个级别的美国联邦标准FED—STD一209。至此形成了完善的洁净室技术的雏形。以上 的这三个关键的进步，常被誉为现代洁净室发展历史上的三个里程碑。 上世纪六十年代中期，洁净室在美国如雨后春笋涌现在各种工业部门。它不仅用于军事 工业，也在电子、光学、微型轴承、微型电机、感光胶片、超纯化学试剂等工业部门得到推 广，对当时科学技术和工业发展起了很大的促进作用。 七十年代初洁净室的建设重点开始转向医疗、制药、食品及生化等行业。除美国而外， 其它工业先进国家，日本、德国、英国、法国、瑞士、前苏联、荷兰等也都十分重视并先后 大力发展了洁净技术。 ¨、中国洁净技术的发展历程 ‘ ● 六十年代初是中国洁净技术发展的起步阶段，大致比国外