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内短分析改善报告 报告人：肖泽武 12/26 一、内短现状 内短报废在各项报废中所占比例较高，本周1.39% ，目标是0.72% 超出目标值0.67% 二.批量内短料号分析 1、618V017内短分析 二.批量内短料号分析 1、8138022内短分析 二.批量内短料号分析 1、8138020内短分析 三、内短原因比例分析 三.原因分析 四.内短改善 * * 江苏华神电子有限公司 Hua Xin 0.72% 0.92% 10月 0.72% 0.68% 11月 0.72% 0.72% 0.72% 0.72% 0.72% 0.72% 0.72% 0.72% 内短报废率目标 0.58%　 0.57% 0.55% 0.61% 0.47% 0.65% 0.71% 1.17% 报废率 51周 50周 49周 48周 47周 46周 45周 9月 周 说明：618V017板在内层AOI时，有发现220PNL芯板L2-3层有曝偏不良，并出品质异常管制卡进行续流。当时查找到是因内层曝光机设备异常造成，经对异常曝光检修后恢复正常。 13.3% 86.7% 比例 2 Set 13 Set 不良数 通孔整偏性偏 L2-3层芯板内层曝光对位偏 原因 钻偏孔 内短点在L3层(内层L2-3曝光偏) 15 Set 分析总数 13.3% 86.7% 比例 1 Set 6 Set 不良数 单孔钻偏 内层L2-3层芯板曝光偏 原因 钻偏孔 内短点在L3层 7 Set 分析总数 说明：经对内短板进行分析，该板的内短点均出现在L3层，且其余层的孔位正常无短路现象，而L2与L4-7层间的对位正常无层偏。 100% 比例 6 Set 不良数 次外层L2、L7与L3-6层拍偏 原因 内短点出现在L3、L4、L5、L6层 6 Set 分析总数 说明：经对内短板进行分析，该板的内短点在L3、L4、L5、L6层均有出现，而2阶的盲孔与底PAD对位正常，L2、L7层PAD与1阶盲孔对位有偏位；且切片分析，内层L3-6层1压层间对位精度正常，L2、L7次外层与L3-6层出现对偏，L2与L7层有2～3mil的层位。从而确认内短是因L2、L7次外层拍板对位偏造成。 6.7% 2 外短 　100% 3.3% 6.7% 20% 63.3% 不良比例 30　 1 2 6 19 不良数 分析总数　 单孔偏 整体钻偏 次外层偏 内层偏 内短类型 说明：从以上内短报废原因比例看，目前造成内短的主要原困为内层偏（占63.3%）、次外层偏（占20%）。 ODF 1、菲林尺寸与板不匹配； PE/菲林房 2、菲林有变形 ODF 3、曝光生产操作不当 IDF 3、曝光生产操作不当 PE/菲林房 2、各层菲林尺寸差异大，菲林有变形 IDF/PM 1、曝光机设备对位异常 20 % 次外层偏 IDF 4、菲林对位；生产板首板、抽检对位不到位 63.3% 内层偏 责任工序 原因 不良比例 内短类型 ODF 板辘膜冷却后进行测板给菲林拉长系数生产；对板尺寸有差异板进行区分用对应系数菲林生产，禁止手擦菲林强行生产 5、菲林尺寸与板不匹配； PE/菲林房 IDF IDF/ODF PE/菲林房 IDF/PM 责任工序 菲林每20PNL进行对位检查1次；曝光生产板首板、每1PNL/次/30PNL蚀板对层间对位进行检查 4、菲林对位；生产板首板、抽检对位不到位 菲林付生产前对菲林尺寸进行检测，菲林尺寸差异大于1mil的菲林需报废处理 6、菲林有变形 产线发现设备异常，及时停止异常设备生产并通知PM进行维修 1、曝光机设备对位异常 曝光前板需冷却至室温；曝光中对台面温度做到随时监控；出现菲林对位异常时禁止擦菲林，而应对菲进行静止或重装。 3、曝光生产操作不当 菲林付生产前先对菲林尺寸进行检测，对菲林的做板数量做到跟踪和有效管控。 2、各层菲林尺寸差异大，菲林有变形 改善重点 内短原因 五.总结 从以上内短原因分析来看，目前内短改善的重点在于对菲林的有效检测和管理；曝光生产的规范操作；首板、抽检的有效落实。