改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨.PDF

2009年6月 贵 州 化 工 第34卷第3期 GuizhouChemical ·7· Industry 改良西门子法生产多晶硅工艺设计探讨 物 涛 (贵州东华工程股份有限公司．贵州贵阳550002) 摘要改良西门子法生产多晶硅是目前最为成熟、应用最广泛、扩展逸度最快的技术。介绍了生产多晶硅 的多种生产方法，重点对改良西门子法生产多晶硅的工艺流程作了介绍，并阐述了工程设计中需注意的问题。 关键词多晶硅；改良西门子法；工艺设计 中图分类号TN304．12文献标识码A 文章编号1008—941l(2009)03一O007一05 多晶硅是硅产品产业链中的一个非常重要的中 2 多晶硅生产方法概述 间产品，是制造硅抛光片、太阳能电池及高纯硅制品 的主要原料，是信息产业和新能源产业最基础的原 由于各多晶硅生产厂家所用的主辅原料并不相 材料。随着全球信息技术的不断进步，对于半导体 同，因此生产工艺技术不同，进而对应的多晶硅产品 硅的需求量日益增加，全世界半导体市场以每年 技术经济指标、产品质量指标、用途、产品检测方法、 20％以上的速度递增。在金融危机出现之前，国内 过程安全等方面也存在差异，各有自己的技术特点 及国际市场的多晶硅需求量急剧增加，国内多晶硅 和技术秘密。总的来说，目前国际上多晶硅生产主 更是严重短缺。据专家预测，今后5一lO年我国将 要的传统工艺有：改良西门子法、硅烷法和流化床 成为世界上电子信息产品的主要生产国和主要市 法。其中改良西门子工艺生产的多晶硅的产能最 场，多晶硅的需求量将会变得更大，国家为此将多晶 大，约占全世界总产能的80％。 硅列入当前重点鼓励发展产业。 2．1 改良西门子法一闭环式三氯氢硅氢还原法 1955年，西门子公司成功开发了利用氢气还原 I多晶硅及其性质 三氯硅烷(SiHCI，)在硅芯发热体上沉积硅的工艺技 多晶硅是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在 术，并于1957年开始了工业规模的生产，这就是通 过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列 常所说的西门子法。在西门子法工艺的基础上，通 成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒， 过增加还原尾气干法回收系统、SiCI。氢化工艺，实 则这些晶粒结合起来，便结晶形成多晶硅。多晶硅 现了闭路循环，于是形成了改良西门子法——闭环 可作拉制单晶硅的原料，多晶硅与单晶硅的差异主 式SiHCI，氢还原法。 要表现在物理性质方面，例如，在力学性质、光学性 改良西门子法是用氯气和氢气合成氯化氢(或 质和热学性质的各向异性方面，远不如单晶硅明显； 外购氯化氢)，氯化氢和工业硅粉(粗硅)在高温下 在电学性质方面，多晶硅晶体的导电性也远不如单 合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行化学精制提纯， 晶硅显著，甚至于几乎没有导电性。但在化学活性 再经多级精馏，使其纯度达到9个9以上，其中金属 方面，两者差异非常的小。 杂质总含量应降到0．1×10。9以下，提纯精馏后的三 多晶硅其性质为：灰色金属光泽，密度2．32— 氯氢硅在氢还原炉内进行CVD(化学气相沉淀法) 2．34，熔点1410℃，沸点23550C，可溶于氢氟酸和硝反应生产高纯多晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大 酸的混酸中，不溶于水、硝酸和盐酸。硬度介于锗和 部分采用此法生产太阳能级与电子级多晶硅。 石英