三坐标测量仪的初步知识.doc

　三坐标测量机 第一节　概述 一、三坐标测量机的产生 43615X2 4 3 6 1 5 X 2 Y Z图9-1 三坐标测量机的组成 Z 1—工作台 2—移动桥架 3—中央滑架 4—Z轴 5—测头 6—电子系统 二、三坐标测量机的组成及工作原理 （一）CMM的组成 三坐标测量机是典型的机电一体化设备，它由机械系统和电子系统两大部分组成。 （1）机械系统：一般由三个正交的直线运动轴构成。如图9-1所示结构中，X向导轨系统装在工作台上，移动桥架横梁是Y向导轨系统，Z向导轨系统装在中央滑架内。三个方向轴上均装有光栅尺用以度量各轴位移值。人工驱动的手轮及机动、数控驱动的电机一般都在各轴附近。用来触测被检测零件表面的测头装在Z轴端部。 （2）电子系统：一般由光栅计数系统、测头信号接口和计算机等组成，用于获得被测坐标点数据，并对数据进行处理。 （二）CMM的工作原理 21ZYX3OIAOI三坐标测量机是基于坐标测量的通用化数字测量设备。它首先将各被测几何元素的测量转化为对这些几何元素上一些点集坐标位置的测量，在测得这些点的坐标位置后，再根据这些点的空间坐标值，经过数学运算求出其尺寸和形位误差。如图9-2所示，要测量工件上一圆柱孔的直径，可以在垂直于孔轴线的截面I内，触测内孔壁上三个点（点1、2、3），则根据这三点的坐标值就可计算出孔的直径及圆心坐标OI；如果在该截面内触测更多的点（点1，2，…，n 2 1 Z Y X 3 O I A OI 图9-2 坐标测量原理 三、三坐标测量机的分类 （一）按CMM的技术水平分类 1．数字显示及打印型 这类CMM主要用于几何尺寸测量，可显示并打印出测得点的坐标数据，但要获得所需的几何尺寸形位误差，还需进行人工运算，其技术水平较低，目前已基本被陶汰。 2．带有计算机进行数据处理型 这类CMM技术水平略高，目前应用较多。其测量仍为手动或机动，但用计算机处理测量数据，可完成诸如工件安装倾斜的自动校正计算、坐标变换、孔心距计算、偏差值计算等数据处理工作。 3．计算机数字控制型 这类CMM技术水平较高，可像数控机床一样，按照编制好的程序自动测量。 （二）按CMM的测量范围分类 1．小型坐标测量机 这类CMM在其最长一个坐标轴方向（一般为X轴方向）上的测量范围小于500mm，主要用于小型精密模具、工具和刀具等的测量。 2．中型坐标测量机 这类CMM在其最长一个坐标轴方向上的测量范围为500～2000mm，是应用最多的机型，主要用于箱体、模具类零件的测量。 3．大型坐标测量机 这类CMM在其最长一个坐标轴方向上的测量范围大于2000mm，主要用于汽车与发动机外壳、航空发动机叶片等大型零件的测量。 （三）按CMM的精度分类 1．精密型CMM 其单轴最大测量不确定度小于1×10－6L（L为最大量程，单位为mm），空间最大测量不确定度小于（2～3）×10－6L，一般放在具有恒温条件的计量室内，用于精密测量。 2．中、低精度CMM 低精度CMM的单轴最大测量不确定度大体在1×10－4L左右，空间最大测量不确定度为（2～3）×10－4L，中等精度CMM的单轴最大测量不确定度约为1×10－5L，空间最大测量不确定度为（2～3）×10－5L。这类CMM一般放在生产车间内，用于生产过程检测。 （四）按CMM的结构形式分类 按照结构形式，CMM可分为移动桥式、固定桥式、龙门式、悬臂式、立柱式等，见下节。 第二节　三坐标测量机的机械结构 一、结构形式 三坐标测量机是由三个正交的直线运动轴构成的，这三个坐标轴的相互配置位置（即总体结构形式）对测量机的精度以及对被测工件的适用性影响较大。图9-3是目前常见的几种CMM结构形式，下面对其结构特点和应用范围作简要介绍。 (a)(g)(c) (a) (g) (c) (h) (d) (e) (i) (f) (b) X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y X Z Y 移动桥式 (b)固定桥式 (c)中心门移动式 (d) 龙门式 (e)悬臂式 (f) 单柱移动式 (g) 单柱固定式 (h) 横臂立柱式 (i) 横臂工作台移动式 图9-3a为移动桥式结构，它是目前应用最广泛的一种结构形式，其结构简单，敞开性好，工件安装在固定工作台上，承载能力强。但这种结构的X向驱动位于桥框一侧，桥框移动时易产生绕Z轴偏摆，而该结构的X向标尺也位于桥框一侧，在Y向存在较大的阿贝臂，这种偏摆会引起较大的阿贝误差，因而该结构主要用于中等精度的中小机型。 图9-3b为固定桥式结构，其桥框固定不动，X向标尺和驱动机构可安装在工作台下方中部