对位平台 - thk.pdfVIP

對位平台 採用獨自的模組結構的 超薄型XY 平台CMX θ CMX CATALOG No.238-4T CMX型的結構與特長 馬達 工作台 基座 交叉滾柱軸承 交叉LM導軌 滾珠螺桿 模組 對位平台CMX型的結構 CMX型的基本結構 ●採用了劃時代性模組結構的超薄型平台（正在申請專利） 在基座、工作台之間的四角平面裝上組合了交叉LM導軌CSR型和特殊交叉滾柱軸承的模組的獨特結構，實現了超薄型 結構。 ■ 對應大型工件 ■ 中空結構 標準最大工作台尺寸為1500mm×1500mm的大型平台。 工作台、基座中央部分獲得較大的空間，可以作為光學 借由安裝所需數量的模組，也可以對應更大的尺寸。 式檢查裝置或導通測試器使用。 ■超薄型、輕量 ■ 高剛性、高精度 因為採用XYθ模組，所以實現了無中座的薄而輕的機 對構成模組的交叉LM導軌和交叉滾柱軸承施加了預壓， 構。 是高精度、高剛性的結構。 用途 ● 液晶面板製造設備、檢查裝置 ● 半導體製造設備、檢查裝置 ●網紋印刷機 ● 印刷電路板製造設備、檢查裝置 CMX型公稱型號的構成 ����������� 工作台尺寸（例 040=400mm×400mm） ： 公稱型號 CMX型規格 CMX1 CMX2 CMX3 公稱型號 025 035 040 050 075 100 150 工作台尺寸 [mm] 250× 250 350× 350 400× 400 500× 500 750× 750 1000× 1000 1500× 1500 行程 [mm]※1 10× 10× 6° 10× 10× 4° 10× 10× 7° 10× 10× 5° 10× 10× 3° 10× 10× 4° 10× 10× 2° 編碼器解析度 [ P/R] 2048 8192 (13比特串行編碼器) 滾珠螺桿導程 [mm] 1