先进传感变换技术.PPT

North China University of Technology/Xu Fen 现代传感技术 Modern Sensor Technology 许 芬 E-mail: xufen@ncut.edu.cn Office: 五教1014 2 Applications of Sensors Automotive industry Process industry Aero industry Food industry Medical instrumentation Consumer electronics Environmental monitoring Space exploration … 3传感技术的战略地位 4 现代传感技术 4.1 New Sensing Principle 4.2 New Sensing material 4.3 New Manufacturing technology 4.4 Integrated smart sensors 4.5 Sensor network and data fusion 4.1 New Sensing Principle Based on the energy domain of sensing element, there are: optical sensing magnetic sensing mechanical sensing chemical sensing bio-sensing New sensors are invented with the finding of new physical and chemical phenomena. For an example, in optical domain, in addition to the photoconductivity and photovoltaic effect, the electro-optical effect has been taken into use. 　 The new magnet-related physical effects include Hall effect, giant magneto-resistance (GMR) effect, magnetostriction effect,etc. 4.2 New Sensing Material 敏感材料是敏感元件的基本材料，是研制性能优良的先进传感器的基础。 Silicon Quarz Ceramics Polymer Non-silicon semiconductor Optical glass fiber Metal oxide 石英材料（SiO2) 石英晶体(Quartz) 特性：各向异性，有很好的压电特性，有优良 　　的机械物理性质。 应用：Resonant sensor 石英玻璃 (Silica glass) 特性：极佳的机械物理性能和化学性能。 应用：精密传感器的敏感元件，如谐振陀螺的谐振子，精密压力计中的敏感元件。 Ceramic composite 通过控制材料的组分比得到不同的功能性陶瓷材料。 陶瓷材料具有耐热性、耐腐蚀性、多孔性、光电性、介电性、压电性等独特性能。可用于制作温度、气敏、光电、离子敏、超声、加速度、力等传感器。 常用的陶瓷敏感材料有半导体陶瓷, 压电陶瓷,热释电陶瓷等 Polymer 高分子材料的固态特征是非晶结构。具有模塑性好、一致性高、易于淀积等优点。 高分子材料主要用作压电、热释电和光电敏感材料。另外大部分化学和生物传感器是基于高分子材料的。 4.3 New fabrication technology 硅微机械加工技术 硅微机械加工技术是硅集成电路工艺的一种扩展技术，用于制造以硅材料为低料、层与层之间有很大差别的三维微结构。硅微机械加工技术分为两大类:体微机械加工(bulk micro-machining)和表面微机械加工(surface micro-machining) 利用刻蚀技术可以制造各种尺寸很小的悬式结构，用于微型谐振式传感器、加速度传感器、流量传感器、应变式力传感器等。 LIGA（X射线深层光刻电镀成型）工艺 LIGA (short for Lithographie Galvanoformung und Abformung) 起源于德国，是Lithography 技术、Electro-forming 技术和plastic molding 技术的结合，可用于加工硅、各种金属、陶瓷和塑料材料等大高宽比(high aspect-ratio)的三