半导体远红外反射镜中反射率和相位研究!-上海交通大学凝聚态光谱.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 /% $ ##- $ ， ， ， RS: ,/% QS ,$ *IT9: ##- （ ） ’###72#K##-K/% #$ K$’/7#- *HL* M5NOPH* OPQPH* !##- H=9? , M=U+ , OSE , 半导体远红外反射镜中反射率和相位研究! 徐 敏 张月蘅 沈文忠! （上海交通大学物理系，上海 ##$# ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% ’$ ##% ’ ’$ 以 材料为例，研究了半导体远红外反射镜中的反射率和相位 通过拟合不同掺杂浓度下样品的远红外反 ()*+ , 射谱，得到了自由载流子的弛豫时间随掺杂浓度变化的经验公式，并把该规律应用到数值计算中 详细讨论了反射 , 镜的结构和材料参数对反射率 和相位 的影响 根据腔体内吸收率最高的判据得到了最优的反射镜的参数，并 ! ! , 计算了这种优化后的反射镜的波长选择特性 最后，通过远红外反射光谱的测量，从实验上验证了这种反射镜的实 , 际效果 所得结论为半导体远红外器件中的反射镜设计提供了参考 , , 关键词：远红外反射镜，反射率，相位 ： ， !## -.%/0 $/1 反射镜的设计须考虑以下三点：（）选取的 GH6 ’ ’F 引 言 反射镜材料必须与探测器材料形成很好的晶格匹 配；（）反射镜能够在探测器适用的波段提供高的反 远红外探测器由于其在天体物理、红外物理和 射率和与之相匹配的相位；（）反射镜本身对光的吸 2 ［］ 新材料探索上的广泛应用已成为近些年研究的热 收应尽可能低% , 根据这三点要求，我们针对 ()*+ 点, 量子效率是衡量探测器性能的一个重要指标，也 同质结远红外探测器（探测原理是利用高掺杂和非 是探测器迈向实用的关键 提高量子效率一个很有 , 掺杂同质结界面上的功函数差异，通过内光发射实