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压电薄膜感测器在生命特征监测方面的应用接触式感测器
壓電薄膜感測器在生命特徵監測方面的應用
壓電薄膜感測器在生命特徵監測方面的應用
壓電薄膜擁有獨一無二的特性,作為一種動態應變感測器,非常適合應用於人體皮膚表面
或植入人體內部的生命信號監測。一些薄膜元件靈敏到足以隔著外套探測出人體脈搏。本文將
著重介紹幾種壓電薄膜在生命特徵監護方面的典型應用。
當你拉伸或彎曲一片壓電聚偏氟乙烯 PVDF 高分子膜(壓電薄膜),薄膜上下電極表面之
間就會產生一個電信號
(電荷或電壓),並且同
拉伸或彎曲的形變成比
例。一般的壓電材料都對壓力敏感,但對於壓電薄膜來說,在縱向施加一個很小的力時,橫向
上會產生很大的應力,而如果對薄膜大面積施加同樣的力時,產生的應力會小很多。因此,壓
電薄膜對動態應力非常敏感,28µm 厚的 PVDF 的靈敏度典型值為 10 ~ 15mV / 微應變(長度的
百萬分率變化)。
使用‘動態應力’這個術語是因為形變產生的電荷會從與薄膜連接的電路流失,所以壓電
薄膜並不能探測靜態應力。當需要探測不同水準的預應力時,這反而成為壓電薄膜的優勢所
在。薄膜只感受到應力的變化量,最低回應頻率可達 0.1Hz.
壓電薄膜很薄,質輕,非常柔軟,可以無源工作,因此可以廣泛應用於醫用感測器,尤其
是需要探測細微的信號時。顯然,該材料的特點在供電受限的情況下尤為突出(在某些結構
中,甚至還可以產生少量的能量)。而且壓電薄膜極其耐用,可以經受數百萬次的彎曲和振
動。
接觸式感測器
利用壓電薄膜的動態應變片特性,可以輕鬆的將壓電薄膜直接固定在人體皮膚上(例如手
腕內側)。精量電子—美國 MEAS 感測器的產品型號 1001777 是一款通用感測器,感測器的
一側塗有壓力敏感膠。但這款膠未經生物相容性認證,在短期試驗中可以將 3M9842(聚亞安
酯膠帶)固定在皮膚上,再將壓電薄膜感測器粘貼在 3M 膠帶上。
1/5 精量電子(深圳)有限公司
壓電薄膜感測器在生命特徵監測方面的應用
圖 1:利用電荷放大器(低頻為 1Hz, 圖 2:重複握緊和鬆開物體時壓電薄膜
靈敏度為 1mV/pC)取得的脈搏信號. 感測器的反應
圖 1 顯示的是利用電荷放大器(低頻為 1Hz,靈敏度為 1mV/pC)取得的脈搏信號。輸出
大約為 130mV(相當於約 100mV 的開路電壓),換算成動態應力約為 8µε。
圖 1 中的信號是在手部放鬆時取得的。彎曲或轉動手腕可以產生更大振幅的信號,尤其是
在預放大器的頻率設置得很低時。圖 2 顯示出重複握緊和鬆開物體時壓電薄膜感測器的反應,
輸出振幅為 3V 左右(開路),或大約 250µε 的動態應力。
壓電薄膜之所以即能探測非常微小的實體信號又能感受到大幅度的活動,是因為 PVDF 膜
的壓電響應在相當大的動態範圍內都是線性的(大約 14 個數量級)。多數情況下,只要能明
顯區分目標信號和雜訊的頻寬,細小的目標信號都可以通過篩檢程式採集到。
類似的感測器已在睡眠紊亂研究中用於探測胸部,腿部,眼部肌肉和皮膚的運動。另外,
感測器可以通過探測肌肉(例如拇指和食指之間的肌肉)對電擊的反應作為檢驗麻醉效果的指
示器(神經肌肉傳導)。
加速度感測器
Minisense100 是精量電子的一款標準產品,採用懸臂梁設計,一端用硬性 PCB 板夾緊並帶
有連接
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