压电陶瓷微位移工作台的建模方法.PDF

No．10 第15卷第10期 光学精密工程 V01．15 and 2007年10月 【)pticsPrecislonEngineeriTlg Oct．2007 文章编号 l004—924X(2007)10—1596一06 压电陶瓷微位移工作台的建模方法 魏强1，张玉林2 摘要：压电陶瓷存在着迟滞非线性特性，而且在运行过程中，特性的变化规律也是未知的，不确定的，难以用传统方法获 取既有足够精确性又不至于过分复杂的压电陶瓷微位移工作台的数学模型。基于神经网络，本文提出了一种新的建模 方法。分析了微位移工作台的结构和建模方法，利用神经网络的自学习和白适应能力，在线调整模型结构和参数，减小 工作台的建模误差，为控制系统提供了更为准确的模型信息。采用工作台的位移数据对网络模型进行丁训练，实验结果 表明，在80Ⅱm行程范围内，工作台的平均定位误差为80nm，最大误差为100nm，基本满足纳米定位的精度要求。 美键词：精密工作台；压电陶瓷；纳米定位；神经网络；系统辨识 中图分类号：TN305．7：TPl83；TN384文献标识码：A of method MOdeling micro’displacementstage driven ceramic bypiezOelectric wEI Y”lin2 Qian91，zHANG (L 271021，c^i”4 DP加r￡卅F”￡D，P^，sicsⅡ”dEZPcfron把Sfi删fF，ni如删叻iwr5ify，ni’nn 2．J”盯i￡“抬o，EZwfron BP。仇，5^肼dogUiwr5f廿，Ji删250061，(冼fn4) Abst憎ct：The ceramicshavethe of and the piezoelectric pmpertyhysteresisnonlinearity，andchange ruIei8unknownand uncertain．ItisdIfficulttobuilda mathematicalmodel highaccuracy simplyusing thetraditionalmethod．Inorderto themodel of driven improve accuracymicro—displacementstage by ceramics，anew methodbasedonneuralnetworkis inthis piezoelectric modeling proposedpaper．The structureandthe methodofthe are Becauseofthe oftheneural modeIing stageanalyzed． advantages networkinself-learnand structureand onllnet