平面波导窄带干涉滤波方法的研究 - 光学精密工程.pdf

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ ４ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．４ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ ４ Ａ ｒ．２００７ 　 　 　　 ｐ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００７０４０４６７０６ 　 平面波导窄带干涉滤波方法的研究 ， １２ １ 李小奇 ，孙德贵 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 １． 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； 中国科学院 研究生院，北京 ） １３００３３２． １０００３９ 摘要：基于多层膜干涉滤波的理论提出了一种在平面波导通道中进行干涉滤波的新方法，这种方法可以使窄带滤波器完 全集成在波导通道中，实际上就是波导通道的一部分。根据这种方法优化设计了两种波导干涉滤波器单元器件，并且以 ２７层开放式波导干涉滤波器双腔结构为例，计算了垂直入射时的输出光谱和单腔结构滤波后的场强分布。最后，分别 分析了滤波器的波导膜的材料、厚度和信号入射角度对输出光谱的峰值透过率、通带半宽度、消光比以及有效区域的影 响，提出了进一步优化的方向。这种在平面波导通道中直接进行窄带滤波的技术将在光通信、光传感和光信息处理等很 多方面有广泛的应用。 关 键 词：集成光学；光开关；波导滤波器；干涉滤波；透射光谱 　 　 中图分类号： 文献标识码： ＴＮ２５６ Ａ 　　 犐狀狏犲狊狋犻犪狋犻狅狀狅狀犻狀狋犲狉犳犲狉犲狀犮犲犳犻犾狋犲狉狑犻狋犺犻狀 犾犪狀犪狉狑犪狏犲狌犻犱犲狊 犵 狆 犵 ， １ ２ １ ， ＬＩＸｉａｏｉ ＳＵＮＤｅｕｉ ｑ ｇ （ ， ， １．犛狋犪狋犲犓犲 犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅 犃 犾犻犲犱犗 狋犻犮狊犆犺犪狀犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅 犗 狋犻犮狊 狔 狔 犳 狆狆 狆 犵 犳 狆 ， ， ， ；