闭式双排节流孔矩形气浮导轨的计算方法(二) - 光学精密工程.pdf

第5卷　第1期 光学　精密工程 . 5, . 1 V o l N o 1997年2月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G F eb ru ary , 1997 闭式双排节流孔矩形气浮 ( ) 导轨的计算方法 二 陶家生 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春 130022) 　　摘要　闭式双排节流孔矩形气浮导轨是气浮导轨中最常见的结构, 本文推导了它 的计算方法, 从而为该导轨的设计找到了一条有效、快捷的途径。 关键词: 气浮导轨; 高压区系数; 承载能力; 刚度 1　单、双排节流孔气浮导轨的区别与联系 　　单排节流孔止推板结构形式恰如图1中宽度的一半, 这样气体从小孔中流出后就沿宽度方 向向两侧流向大气, 而双排节流孔结构形式则只能向单方向流向大气, 于是在B 1 宽度内即形 成一高压区, 因此两者的区别在于: F ig. 1　T h ru st p late o f doub le row o r ifice s st ru ctu ra l 　　　P re ssu re fie ld st ru ctu re in w ide d irect ion sty le ) 　　1 高压区的有无; 2) 气流从节流孔流出后的单、双向流动。 收稿 日期: 1996年3月10 日 56 光学　精密工程 5卷 这两种形式的联系在于, 单排孔时气体沿止推板双向排入大气, 双排孔时这两排孔向两个 方向流动的B 区域的作用则恰相当于单排孔结构时一块止推板的作用, 只是它们的气体质量 流量相差一半。至于气体流动模式、压气分布形式将完全相同。所以双排孔止推板在两个B 区 域的承载能力和刚度的计算将与单排孔时的完全类似, 只需再考虑到高压区部分的作用即是 双排节流孔时的情况。 因此, 可以借鉴开式单排节流孔时气浮导轨的计算方法求得闭式双排节流孔形式气浮导 轨的计算公式。 2　 闭式双排节流孔矩形气浮导轨的承载计算 　　在双排孔形式下的气体质量平衡方程为[ 1 ] P (P 0 - P ) = K 1 (P 2 - 1) 2 ( 1) 其中 l h 3 K 1 = T ( c a 2 ) 2 (2) 2 ×716D B 　　P : 节流孔后压力与环境压力P a 的比 T : 气体绝对温度 h : 导轨单面间隙 : 供气温度下大气比重 a D : 节流孔直径 : 空气粘度 P 0: 供气压力与环境压力的比 ( ) 如第一节的分析可以得出单个止推板 即开式导轨 的承载能力为: 4 P 3 - 1 W