基于原子力显微镜的犘犕犕犃飞秒激光纳米加工 - 光学精密工程.pdfVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １５ １２ 　 Ｖｏｌ．１５ Ｎｏ．１２ 　 　 　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　 　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００７ １２ Ｄｅｃ．２００７ 　 　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００８０１１９５９０４ 　 基于原子力显微镜的犘犕犕犃飞秒激光纳米加工 １ １ １ ２ ２ １ 黄文浩 ，朱兰芳 ，陈宇航 ，言 峰 ，周 明 ，王 翔 　 　 　 （ 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系，安徽 合肥 ； １． ２３００２７ ２．江苏大学 材料科学和工程学院，江苏 镇江 ２１２０１３） 摘要：介绍了一种基于原子力显微镜（ ）的激光近场增强纳米加工方法。探讨了作为主要影响因素的激光场增强效 ＡＦＭ 应，用时域有限差分法对 ＡＦＭ探针下光场的空间分布进行了数值分析。研究了飞秒激光入射到 ＡＦＭ探针的ＰＭＭＡ 材料的图形化，在 ＰＭＭＡ材料表面加工了不同宽度的线条和字母。利用 ＡＦＭ对所得纳米图形进行了原位测试。在激 光参数未经优化的情况下，其线宽可达 ，超过了实验室飞秒激光远场加工的分辨能力（ ）。 １００ｎｍ ２００ｎｍ 关 键 词：纳米加工；局域场增强； ＰＭＭＡ 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＮ２４９ＴＨ７４２．９ Ａ 　　 犃犉犕犫犪狊犲犱犳犲犿狋狅狊犲犮狅狀犱犾犪狊犲狉狀犪狀狅犳犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犘犕犕犃 １ １ １ ２ ２ １ ， ， ， ， ， ＨＵＡＮＧＷｅｎｈａｏ ＺＨＵＬａｎｆａｎ ＣＨＥＮＹｕｈａｎ ＹＡＮＦｅｎ ＺＨＯＵＭｉｎ ＷＡＮＧＸｉａｎ ｇ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， １．犇犲犪狉狋犿犲狀狋狅 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犕犪犮犺犻狀犲狉 犪狀犱犐狀狊狋狉狌犿犲狀狋犪狋犻狅狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱 狆 犳 狔 狔 犳