基于梳齿间距偏差的微加速度计灵敏度模型 - 计量学报.pdfVIP

第３２卷　第２期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３２，№２ ２０１１年　３月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｍａｒｃｈ，２０１１ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１１．０２．０２ 基于梳齿间距偏差的微加速度计灵敏度模型 戴　强，　于　奇，　钱可强，　周　伟 （电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川 成都６１００５４） 摘要：针对电容式微加速度计梳齿间距偏差所引起的灵敏度变化，基于高维数值积分与概率理论，并结合闭环 微加速度计工作原理，导出了其灵敏度模型。当梳齿间距偏差分布在３７～４６ ｍ区间，施加在固定电极上有效 μ 电压分别为２３Ｖ、５１Ｖ和８３Ｖ时，其对应的灵敏度将处于１２０～１９５、５５～８５和３２～５１ｍＶ／ｇ范围。在相同条 ｎ 件下，对一批体硅玻璃键合结构的微加速度计进行了实验测量，其灵敏度分别落在 １１９３～１７９９、５３８～８１１和 ３３０～４９８ｍＶ／ｇ区间。由此可见，该模型与实测值比较接近。模型指出了灵敏度与梳齿间距偏差的相互关系， ｎ 从而可为微加速度计设计和工艺优化提供参考。 关键词：计量学；微加速度计；灵敏度模型；梳齿间距偏差 中图分类号：ＴＢ９３４　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１１）０２０１０１０５ ＳｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙＭｏｄｅｌｏｆＭｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄＡｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓ ＢａｓｅｄｏｎｔｈｅＤｅｖｉａｔｉｏｎｏｆＣｏｍｂＦｉｎｇｅｒＧａｐｓ ＤＡＩＱｉａｎｇ，　ＹＵＱｉ，　ＱＩＡＮＫｅｑｉａｎｇ，　ＺＨＯＵＷｅｉ （ＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙｏｆＣｈｉｎａ， Ｓｔａｔｅｋｅｙｌａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｔｈｉｎｆｉｌｍｓａｎｄｉｎｔｅｇｒａｔｅｄｄｅｖｉｃｅｓ，Ｃｈｅｎｇｄｕ，Ｓｉｃｈｕａｎ６１００５４，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｏｃｏｐｅｗｉｔｈｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｄｅｖｉａｔｉｏｎｏｆｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓｂｒｏｕｇｈｔｂｙｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｐｒｏｃｅｓｓ ｅｒｒｏｒｉｎｃｏｍｂｆｉｎｇｅｒｇａｐｓ，ａｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｍｏｄｅｌｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄｂａｓｅｄｏｎｐｒｏｂａｂｉｌｉｔｙｔｈｅｏｒｙａｎｄｃｌｏｓｅｌｏｏｐｃａｐａｃｉｔｉｖｅｍｉｃｒｏ ａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｍｅｃｈａｎｉｓｍＩｔｉｓｉｎｄｉｃａｔｅｄｔｈａｔ，ｂｙｔｈｅｍｏｄｅｌ，ｗｈｅｎｔｈｅａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓｇａｐｓｄｉｍｅｎｓｉｏｎｓａｒｅｆｒｏｍ３７ｔｏ４６ μｍｄｕｅｔｏｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｅｄｐｒｏｃｅｓｓａｎｄｍｅａｎｗｈｉｌｅ，ｅｆｆｅｃｔｉｖｅｖｏｌｔａｇｅｓｏｎｔｈｅｆｉｘｅｄｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓａｒｅ２３Ｖ，５１Ｖａｎｄ８３Ｖ ｒｅｓｐｅｃｔｉｖｅｌｙ，ｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｉｅｓｏｆｔｈｅａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓｗｉｌｌｂｅｉｎ１２０～１９５ｍＶ／ｇ，５５～８５ｍＶ／ｇ ａｎｄ３２～５１ｍＶ／ｇ ｎ ｎ ｎ Ｆｕｒｔｈｅｒｍｏｒｅ，ａｂａｔｃｈｏｆｂｕｌｋｓｉｌｉｃｏｎａｃｃｅｌｅｒｏｍｅｔｅｒｓａｒｅｔｅｓｔｅｄＷｉｔｈｔｈｅｓａｍｅｅｆｆｅｃｔｉｖｅｖｏ