机械刘军山 - 机械工程与材料能源学部 - 大连理工大学.docVIP

竞聘教学、科研系列高级岗位 业绩审核表 所在学： 机械工程学院 设岗学科及研究方向： 微纳米加工技术与工艺 竞聘专业技术岗位： 姓名： 填表日期： 年月 日 大连理工大学 20年月制 姓 名 刘军山 性别 男 出生年月 1975-11 政治面貌 中共党员 专业技术 职务 副研究员 任职时间 2007-12 进校时间 2005-07 出生地 辽宁省 庄河市 最后学历、毕业学校、专业、时间 研究生、大连理工大学、机械制造及其自动化、2005-05 最后学位、毕业学校、专业、时间 博士、大连理工大学、机械制造及其自动化、2005-07 从事专业 微机电工程 本人所在 队伍情况 (填写姓名) 教授（研究员） 副教授（高工） 讲师（工程师） 其他 王立鼎、刘冲、褚金奎、王晓东、邹赫麟、杜立群 马勇、金仁成、崔岩、刘军山、徐征、罗怡、梁军生、王大志、娄志峰、李经民 任同群、张志新、卞桂虹、单庆、陈莉、李克洪、张溪、尹鹏和、孙盼 学习简历及工作履历（竞聘副教授岗位人员须填写工程实践经历）： 学习简历： 1994-09－199-07，理工大学，获学士学位； 199-09－-02，，获硕士学位； -03－200-05，，获博士学位。 工作履历： -07－-11， 2007-12－，，-02－20-02，，-08－，二、学术贡献、创新成果、科学价值或社会经济意义国内外同行专家评价 人才培养和教书育人 （1）本科生培养 指导本科毕业设计9人，其中人获校优秀毕业设计论文；指导大学生创新实验项目3项7人，其中1项被评为“国家”级项目；指导大学生攀登杯竞赛项目1项；担任2届本科生班主任，其中1个班级被评为校优良学风班。人获得校“优秀班主任”等称号。 （2）研究生培养 开设1门研究生课程《微纳米测量技术》（32学时）。指导硕士研究生14人，已毕业9人，指导博士研究生2人。其中获得辽宁省优秀硕士学位论文，2人获得大连理工大学优秀硕士学位论文。 大连理工大学校报对的研究生培养工作进行了专门报道—科教道路与学生相伴而行。 （3）学科平台建设 担任微系统研究中心的实验室主任，全面负责实验室的运行管理。该实验室工程师9名，950m2，大型设备40余台，是微纳米技术及系统省重点实验室的主体，也是精密与特种加工教育部重点实验室的重要组成部分。实验室对校内外全面开放，平均每天实验的师生30人。 申请人一直从事聚合物微纳米制造理论、方法及其应用研究国家自然科学基金1项教育部新世纪优秀人才支持计划项目发表论文篇，SCI收录论文篇 （1）聚合物纳米结构制造 复制技术（热压、注塑、浇注等）是制造聚合物纳米结构的一种主要方法，然而目前用于复制成形的纳米模具的制作主要依赖于纳米光刻技术，所需设备昂贵，模具制作周期长、成本高，而且模具为硅材料，容易破碎，使用寿命短。为此，申请人首次提出了一种基于紫外光刻的聚合物纳米模具制造新方法，并创新性开展利用聚合物模具进行纳米结构复制成形的理论与方法研究。阐明了聚合物模具的变形行为以及纳米限域内聚合物材料的流变机理，建立了聚合物模具纳米热压的理论及仿真模型，开发出聚合物纳米模具设计补偿方法、纳米模具低表面能改性等关键技术，研制出了多种纳。纳米模具制作成本降低了5倍以上，模具使用寿命至少提高了30倍。该项工作得到国家自然科学基金面上项目和教育部新世纪优秀人才支持计划项目（NCET-10-0284 ）的资助，已在Appl. Phys. Lett.（IF 3.794）、Microsyst. Technol.（IF 1.071）、Micro Nano Lett.（IF 1.167）等国际期刊上发表SCI收录论文8篇，申请国家发明专利4项。 （2）聚合物表面的异质材料微结构制造 为了提高集成度，微纳芯片上集成了金属、半导体等异质材料微结构，用作各种传感器和执行器等。然而，由于聚合物在热性能和抗化学腐蚀性等方面与光刻等半导体工艺不兼容，导致发展成熟的半导体技术不能用于在聚合物表面制造异质材料微结构。为此，申请人提出了两种与聚合物材料相兼容的单一异质材料微结构制造方法。1）一种基于“二次曝光腐蚀”的新方法，用于制造铜等易腐蚀金属微结构。2）一种基于“碱性剥离”的新方法，用于制造铂、金等惰性金属以及碳等非金属微结构。此外，为了满足电化学检测等应用，3）提出了一种单片集成多种异质材料微结构的制造新方法。该项工作得到了大连市科学技术基金和电分析化学国家重点实